编号KM********** 公告标题人工微结构材料实验室平台项目—等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统竞谈公告 采购人昆明学院原公告标题人工微结构材料实验室平台项目—等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统竞谈公告*.采购公告内容： 竞谈公告*．竞争性谈判条件人工微结构材料实验室平台项目—等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统，根据****市本级财政预算，按照昆采财【****】*号文，采购人：昆明学院，项目资金：财政性资金，现对该项目进行公开竞争性谈判，特邀请有兴趣的潜在竞标人参加报名。*．项目概况与竞争性谈判范围*.* 交货地点：昆明学院*.* 采购预算 ：财政部门审批金额**万元，本项目招标控制价以财政部门审批的金额为最高控制价。*.* 交货期：成交签订合同，接到业主方通知后*个月内必须把货物交到业主指定地点，并到现场按规范要求免费安装调试并教会工作人员使用，谈判申请人据此自报工期；*.* 谈判范围：该设备主要包含以下几个部件*B****人工微结构材料实验室平台项目—等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统该设备主要包含以下几个部件，各个部件的具体参数见本表：*、射频电源 *、三温区开启式管式炉和温控系统 *、炉子滑动导轨 *、真空系统 *、真空计 *、质量流量计混气系统 *、附件*-*B****等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-射频电源输出功率:*-***W，稳定性为±*%； 射频频率:**.** MHz，稳定性为±*.***%；最大反射功率: ***W； 匹配:自动； 射频接口: **Ω,N-type； 噪音: ** dB；冷却方式:电扇，风冷； 电源: AC***-***V, **/**Hz。*-*B****等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-三温区开启式管式炉和温控系统炉管能快速升温、降温，可以加热到****℃，材料为高纯石英；工作温度：室温～****℃；控温精度：+/- *℃；炉管尺寸：***D x **** L（单位mm）；三个温区分别由三个PID温控系统（**段高精度数字可编程温度控制器）来控制； 每个温区长度至少为为***mm，总温区长度至少为***mm；带有过热和断偶保护；带有控制模块，可以将温度设置和温度曲线导入到电脑；输入电源：***–***V、AC，单相；最大功率：*KW以上。*-*B****等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-炉子滑动导轨炉子安装在导轨上，可以滑离原来加热区域，以快速降温。*-*B****等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-真空系统：机械泵极限真空**E-* Torr； 机械泵进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）；KFD**快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；真空法兰采用***不锈钢制作；水冷法兰（配套水冷机组或水循环冷却器），水流量 = **L/M； 左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀；右端法兰设计为KF**接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF**卡箍；管内极限真空对于** O.D x ** I.D x ****mm L的管子能达到**E-* Torr。*-*B****等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-真空计防腐型、数字式真空显示计，安装在左法兰上；测量范围：*.*×**E-* -**** Torr；*-*B****等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-质量流量计混气系统四个精密的质量流量计(精度*.*% ) ：数字显示，自动控制；MFC *范围: *~*** sccm； MFC *和*: *~*** sccm； MFC *范围: *~*** sccm；一个混气罐，底部装有泄废液口；* 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制*种气体；进气口: *个*/*NPS；出气口: *个 */*NPS。*-*B****等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-附件（*）高纯石英炉管***D x **** L一根，***D x **** L两根，炉管密封圈*套，卡箍*套、法兰*套； （*）与设备配套的搭建气路用的备用不锈钢卡套管***米、二通**个、三通**个、四通*个、不锈钢高压气瓶减压阀*个；（*）弯管器*个，钢管割刀*个；（*）其他维护、维修和改装设备用的配套工具；（*）氧化硅基片*片(Si+SiO*薄膜、***面、dia*"、 常规厚度***nmSiO*、单抛)、硅晶体基片*片（***面、标准抛光片尺寸：Ф*"x*.*mm、单抛）、石英玻璃(SiO*)基片*片（Ф*"x *mm、双抛）（*）恒温密闭超声波反应器（工作频率：**±*KHz；超声功率：**~****W；单次处理量：**~***ml；温控范围：-*~***℃；磁力搅拌：*~****转/分）、定硫仪（硫测硫量范围：*-**%；分辨率：*%以上为*.**%，*%以内为*.***%；自动打开和关闭搅拌、净化装置，避免过电解现象发生，保护搅拌净化装置）（*）高纯甲烷、氩气、氧气、氢气、乙烯各一瓶。 *.* 资格审查方式：资格后审。*．谈判申请人资格要求*.*谈判申请人应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件:*.*．谈判申请人必须是在中国境内注册，并具有法人资格, 持有有效的工商营业执照、税务登记证、组织机构代码证；*.*.谈判申请人具有法人资格的设备生产厂家或经销商，其营业执照的经营范围内具有相关内容。*.*必须提供设备制造商****年销售业绩情况及同类业绩证明材料；*.*本项目不接受联合体谈判。*.*.其他要求：行贿犯罪档案查询：中标人应按《关于印发昆明市公共资源交易活动中开展行贿犯罪档案查询促进廉洁诚信建设管理规定（试行）的通知》（昆监管联发【****】*号）的规定在领取中标通知书时提交由检察机关出具的自本招标公告发布之日前三年的行贿犯罪档案查询结果，未提供的，视为放弃中标资格。四、竞争性谈判文件的获取：*.凡有意参加投标者，请于****年 月 日至****年 月 日(北京时间，下同)，登录昆明市公共资源交易网（网址：http://***.******.***)，凭企业数字证书（USBKEY）在网上获取电子竞争性谈判文件及其它招标资料；未办理企业数字证书（USBKEY）的企业需要按照昆明市公共资源交易电子认证的要求，办理企业数字证书（USBKEY），并在昆明市公共资源交易网完成注册通过后，便可获取竞争性谈判文件，此为获取竞争性谈判文件的唯一途径。 *.采购人不提供邮购竞争性谈判文件服务。 五、竞标文件的递交：*.竞标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为****年 月 日 时 分。*.网上递交：网上递交网址为http://***.******.***，竞标人须在投标截止时间前完成所有竞标文件的上传，网上确认电子签名，并打印“上传竞标文件回执”，投标截止时间前未完成竞标文件传输的，视为撤回竞标文件。 网上递交竞标文件后，还须到开标现场递交刻录竞标文件的光盘，地点：昆明市公共资源交易中心（昆明市呈贡区市级行政中心锦绣大街*号综合服务楼*楼）。逾期送达的或者未送达指定地点的竞标文件（光盘），视为撤回竞标文件，采购人不予受理。 六、发布公告的媒介：本次竞谈公告在昆明市公共资源交易网（http:// ***.******.***）、******对其他网站或媒体转载的公告及公告内容不承担任何责任。七、联系方式采购单位：昆明学院办公地址：云南省·昆明市 昆明经济技术开发区 浦新路*号联 系 人： 李老师联系电话：****-********采购代理机构： ******办公地址：昆明市高新区海源中路****号和成国际大厦A栋**楼联 系 人: 黄帆联系电话：****-******** ************.竞争性谈判文件的获取： *.* 凡有意参加竞标者，请于 ****-**-** **:** 至 ****-**-** **:** (北京时间，下同)，登录昆明市公共资源交易网（网址：http://***.******.***)，凭企业数字证书（USBKEY）在网上获取电子竞争性谈判文件及其它竞争性谈判资料；未办理企业数字证书（USBKEY）的企业需要按照昆明市公共资源交易电子认证的要求，办理企业数字证书（USBKEY），并在昆明市公共资源交易网完成注册通过后，便可获取竞争性谈判文件，此为获取竞争性谈判文件的唯一途径。 *.* 采购人不提供邮购竞争性谈判文件服务。 *.竞标文件的递交： *.* 竞标文件递交的截止时间（竞标截止时间，下同）为 ****-**-** **:**。 *.* 网上递交：网上递交网址为http://***.******.***，竞标人须在竞标截止时间前完成所有竞标文件的上传，网上确认电子签名，并打印“上传竞标文件回执”，竞标截止时间前未完成竞标文件传输的，视为撤回竞标文件。 现场递交光盘：地址 昆明市公共资源交易中心（昆明市呈贡区市级行政中心锦绣大街*号综合服务楼*楼）。。 逾期送达的或者未送达指定地点的竞标文件（光盘），视为撤回竞标文件，采购人不予受理。 *.发布公告的媒介： 云南省政府采购网、昆明市公共资源交易网*.联系方式： 采购单位：昆明学院 办公地址：云南省·昆明市 昆明经济技术开发区 浦新路*号 联 系 人： 李老师 联系电话：****-******** 采购代理机构： ****** 办公地址：昆明市高新区海源中路****号和成国际大厦A栋**楼 联 系 人: 黄帆 联系电话：****-******** ***********包件（标段）编号包件（标段）名称采购类别采购文件获取起始时间采购文件获取截止时间投标截止时间操作KM**********_*人工微结构材料实验室平台项目—等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统采购项目竞争性谈判货物****-**-** **:******-**-** **:******-**-** **:**