北京朝阳人工晶体北京市工程实验室设备采购项目（第一包）招标公告
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招标内容：采购数量：*台AIN晶体生长炉
简要技术要求：
a.有效区：φ***×***（mm）
b.温度：最高温度：****℃工作温度：****℃~****℃
c.真空度：冷态极限真空度：优于*×**-*Pa工作真空度：优于*×**-*Pa
d.压升率＜*.*Pa/h
e.控温精度：±*.*%FS，至少要*个温度控制点。（同时功率分辨率：±*W（控温精度））
f.坩埚上升速率：匀速可调，快升快降速度不低于*cm/min，晶体生长过程慢速控制速度*~***μm/h。
坩埚旋转速率：（转速可调，*~**转/分钟。）
g.工作气氛：氮气纯度：≥**.***%工作压力：随晶体生长工艺的过程有多个恒定的压力控制点且动态可调（生长时***~**** Torr要保持大的冗余度），控制精度±*.*%；
h.智能控制系统
炉腔压力实时显示、可调；
超压报警及自动泄压控制（最大压力**%）；
加热器功率和温度实时显示，定时采样， 显示功率曲线和温度曲线；
坩埚上升、旋转速率实时显示、可调
等各种生长工艺参数集成控制和显示
i.自循环水冷，冷却循环水温实时显示，水温，水压报警；
j.要求搭建温场(用户可提供模拟温场)，为尽可能减少C、O污染，保温材料要与用户商定。投标申请人资格要求：（*）必须是在中华人民共和国境内注册，具有独立法人资格的单位。
（*）注册资本金需在**万（含）以上。
（*）营业执照中所载经营范围包含设备加工、生产或销售相关内容。
（*）具有PVT法AIN或SiC晶体生长炉供货业绩，在设备、人员、资金、安全质量保证及环境保护管理体系等方面，具有圆满完成本项目的能力。
（*）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录。
（*）不得与招标人、招标代理机构有任何隶属关系或其他利害关系。
（*）本项目不接受代理商及联合体投标。
投标申请人需提交资料：（*）投标人的企业法人营业执照副本、税务登记证、组织机构代码、类似业绩合同原件及复印件。注：如提供三证合一的营业执照则不需要提供税务登记证、组织机构代码。（*）法定代表人授权委托书、身份证原件及复印件并加盖公章。
投标报名时间：****年*月**日 *:** 至 ****年*月**日 **:**招标文件购买时间：****年*月**日 *:** 至 ****年*月**日 **:**招标文件售价：￥***.** 元整招标文件购买地点：劲松九区广和南里八条*号*幢开标时间：****年*月*日 *:**开标地点：朝阳区劲松九区广和南里八条*号*幢备注：无投标文件提交截止时间：****年*月*日 *:** 至 ****年*月*日 *:**招标人联系地址：朝阳区东坝红松园*号院邮编：******联系人：陈老师联系电话：***********传真：电子邮件：招标人代理机构联系地址：朝阳区劲松九区广和南里八条*号*幢邮编：******联系人：闫钟洋联系电话：********传真：电子邮件：批复文号京发改[****]***号
