广东华南先进光电子研究院采购卷绕式磁控溅射镀膜系统中标公示
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采购单号：HSZC****CG******招标编号：****-****GZ**CL**A发布日期：****-**-**截止日期：****-**-**招标标题：华南先进光电子研究院采购卷绕式磁控溅射镀膜系统招标说明：开标日期：****-**-**评标日期：****-**-**招标机构：******中标机构：广东******序号物资/服务名称物资/服务专业名称、品牌型号配置说明(使用功能、技术参数、售后服务)单位数量中标单价*卷绕式磁控溅射镀膜系统无一、主要技术指标
设备总体构成：真空室及真空机组系统、卷绕系统、充气系统、平面矩形磁控阴极、溅射电源、真空测量系统、蝶阀调压控制系统、冷却循环水系统等。*.* 真空反应室及真空机组系统:
?真空腔体采用全不锈钢焊接结构，圆形卧式Φ***mm 真空专用不锈钢内部有不锈钢内胆，便于定期清洗，外表作喷砂氧化或抛光光亮处理；
?腔体上要有至少*个CF***观察窗口（安捷伦）。除标准安装孔外，预留至少一个CF四芯引线法兰，全部接口采用无氧铜和氟橡胶密封；
?真空机组采用涡轮分子泵，前级泵采用直联机械泵（爱德华E*M**）。真空管路连接全部采用不锈钢波纹管，高真空阀门；
?真空腔体极限真空*×**-*Pa。从大气状态开始抽真空，**分钟内达到*×**-*Pa。
*.*卷绕系统：
?镀膜速度*.*-*m/min 手动控制，采用高精度交流变频调速。卷绕方式可实现正反转功能。?真空室配有镀膜辊（载冷剂）防止镀膜过程中样品因高温过高而变形或损坏。
*.*气路系统:
?腔体内部送气环，保证送气均匀；
?送气控制要求采用流量计控制单元，不少于*路质量流量控制单元；
?气体管道全部采用EP内抛光金属管，接口为卡套接口（气动阀及气体管道接头均采用Swagelok）。
*.*磁控溅射电源及辅助系统:
?配以至少*只***mm***mm距形平面磁控靶，每靶配有防污挡板；
?*台**** W的直流或中频双极脉冲溅射电源配有匹配器；
?*台**** W的直流或中频双极脉冲溅射电源配有匹配器；
?电源具备过流保护设计，要求具有抗瞬时大电流冲击能力，能适应长时间溅射沉积工艺的需要。
*.* 镀膜系统:
?靶要求有良好的水冷功能，同时不同靶之间避免交叉污染；
?样品要求***mm样品范围内镀膜均匀性*%；
*.*真空测量系统：
?真空测量系统要求测量精准，测量范围*.**~*.**X**-*pa。
*.*蝶阀调压控制系统：
?蝶阀调压控制系统要能精准调压，调压范围为**pa~***pa。
*.* 冷却循环水系统:
?系统分子泵需要冷却、腔体、磁控靶要冷却。
*.*其它部件及系统
a) 机架：乳白、银灰色；
b) 其它连接管道：连接波纹管；
c) 其它阀门：气动阀、电磁阀、放气阀；
d) 其它接头：水、气接口。二、安装验收及售后服务
*.*. 由卖方交付货物至买方指定安装地点（设备从卸货、搬运至指定位置，均由卖方负责。需由买方配合的在此说明），负责设备现场安装调试。
*.*. 验收时按标书技术规格进行验收。验收分两次进行：第一次为产品出厂前生产现场验收；第二次为用户现场安装调试后验收，并试运行**天后方视为验收合格。三、质量保证与维修
*.*. 投标商应有固定的、并正常运转的维修服务点、能够提供长期的良好售后服务和技术支持。要求供货商接到买方报修通知后*小时给予答复，**小时内能够到达现场提供服务。保修期后保证备件的供应。
*.*. 整套设备提供自买方验收合格后不少于**个月的保修期（保修期长的优先考虑）。四、培训
*.*. 供货商在买方安装现场提供*名操作人员的现场培训。五、应提供的技术资料或必须提供的技术参数
*.*. 供货商应提供转台设备质量合格证、出厂检验报告各一份.套*******
