广东光电子材料与技术研究所采购原子层沉积系统仪器
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采购单号：HSZC****CG******招标编号：****-****C*******发布日期：****-**-**截止日期：****-**-**招标标题：光电子材料与技术研究所采购原子层沉积系统仪器招标说明：开标日期：****-**-**评标日期：****-**-**招标机构：广******序号物资/服务名称物资/服务专业名称、品牌型号配置说明(使用功能、技术参数、售后服务)单位数量*原子层沉积系统仪器英作纳米科技品牌LabNanoTM ****型号*、使用功能：原子级薄膜制备技术。
*、技术参数：基片尺寸：* -** 英寸；可选样品高度：* mm；基片温度：RT-***℃，控制精度±*℃，前驱体输运系统：标准*路前驱体管路，载气系统：N*或者Ar；沉积均匀性：Al*O*均匀性+/?*%；电源：**-**Hz,***V/**A交流电源；机柜：标准金属机柜，易拆卸柜板，可调节支脚；仪器尺寸：****X***X**** mm。*、售后服务：*年台*
