广东实验中心采购超高分辨率场发射扫描电子显微镜
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采购单号：HSZC****CG******招标编号：****-****C*******发布日期：****-**-**截止日期：****-**-**招标标题：实验中心采购超高分辨率场发射扫描电子显微镜招标说明：开标日期：****-**-**评标日期：****-**-**招标机构：广******序号物资/服务名称物资/服务专业名称、品牌型号配置说明(使用功能、技术参数、售后服务)单位数量*超高分辨率场发射扫描电子显微镜待定分辨率(优于)： *.*nm@** kV、*.* nm@* kV
放大倍率：范围不小于** ~ *,***,***倍
加速电压：**V～** kV
电子枪：肖特基场发射阴极电子枪
电子束流：* pA～** nA束流稳定性优于 *.*%/h
探测器：样品室内二次电子探测器、多象限背散射电子探测器、镜筒内独立的超高分辨二次电子探测器、*个红外CCD相机、样品电流监测器或者法拉第杯
样品台：五轴马达全自动样品台，能容纳最大样品尺寸? *** mm
样品室：配备快速气锁更换样品、等离子体清洗装置
能谱仪：**mm*半导体电子制冷双探头，分辨率优于***eV，分析元素范围Be*~Pu**；免维护性
配备配套使用的必要附属设备、备品备件等，保修期*年以上套*
