广东揭阳华南先进光电子研究院采购真空蒸发镀膜涂层设备中标公示
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采购单号：HSZC****CG******招标编号：****-****C*******发布日期：****-**-**截止日期：****-**-**招标标题：华南先进光电子研究院采购真空蒸发镀膜涂层设备招标说明：开标日期：****-**-**评标日期：****-**-**招标机构：广******中标机构：******序号物资/服务名称物资/服务专业名称、品牌型号配置说明(使用功能、技术参数、售后服务)单位数量中标单价*真空蒸发镀膜涂层设备泰科诺*.设备简介：
ZHDS-*** 型金属涂层设备为纳米薄膜沉积系统与手套箱系统有机结合，具有高真空有机、多源金属电阻蒸发及手套箱保护条件下器件后期制作。专业用于纳米薄膜光电子器件制备及生产线前期工艺试验等。
*.设备结构技术性能特点：
*.*. 真空蒸发镀膜室：
***.******.***. 高真空不锈钢镀膜室：尺寸***×***×***mm 方形结构，前门开在手套箱体内；与手套箱无泄漏对接。前开门便于蒸发材料和样片保护环境装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置）。腔室内表面抛光，外表面三相处理；
***.******.***. 在室内底板圆周上三组金属水冷舟式蒸发源、一组束源炉式可调角度有机蒸发源，
其它包括：蒸发源配有独立气动挡板；
***.******.***. 水冷样品台，配基片挡板，可随时打开挡板进行镀膜；
***.******.***. 真空室左主抽管道法兰，安装分子泵和挡板阀；
***.******.***. 预留CF** 膜厚监控等共* 个备用法兰接口；
***.******.***. 前后门位置各安装一个磁力Φ**mm 观察窗（带挡板）；
***.******.***. 腔室顶部安装一支热电偶可测试腔室里面环境温度。
*.*. 工件台系统：
***.******.***. 基片台：抽屉式结构，承载最大*******mm 基片；载物台采用*** 不锈钢，并配有簧片夹具，方便用户固定各种规格样品。
***.******.***. 基片台磁流体密封，电机驱动，旋转速度*-** 转/分钟可调；
***.******.***. 基片台配气动挡板；
***.******.***. 基片台为水冷基片台；
***.******.***. 可选配固定式掩模板：掩膜板按需方要求，加工* 套。
*.*. 真空系统：
***.******.***. 采用国产“分子泵+机械泵”真空抽气系统；
***.******.***. 复合分子泵：型号FF***/**** 抽速**** L/S，水平安装；
***.******.***. 机械泵：RV-** 进口爱德华，配油污过滤器；
***.******.***. 真空阀门：主阀CCQ-***, 高真空插板阀；
***.******.***. 前级阀/旁路阀：GDQ-**,高真空气动挡板阀；
***.******.***. 真空测量： “两低一高”（两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空） 数显复合真空计，测量范围从*×***Pa 到*×**-*Pa；
***.******.***. 真空密封：部分采用金属密封，部分采用氟橡胶圈密封；
*.*. 金属及有机蒸发源：
***.******.***. 蒸发源:* 组金属+* 组有机束源蒸发源，四组源间隔**°圆周分布。金属蒸发电极采用水冷铜电极结构，金属蒸发源采用舟式源，有机蒸发源采用束源炉蒸发源+石英坩埚蒸发模式；最高加热温度*** 度；
***.******.***. 蒸发源间设有隔板及独立挡板；
***.******.***. 蒸发舟：钼舟** 个；有机石英坩埚（*ml）** 个；
***.******.***. 蒸发电源
***.******.***. 金属蒸发电源功率： *Kw * 台,可转换供* 组电极使用；特点：电流通过逆变式调控，稳定可靠；有机束源蒸发源：配独立PID 智能控温式蒸发电源* 台；
*.*. 水冷系统：
***.******.***. 冷却水路* 进* 出，总进水采用水压继电器控制。
***.******.***. 总进水与出水接制冷循环水机，需控温范围**–**℃。给电极、分子泵、磁流体提供稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。配：专用*P 制冷循环水机一台
*.*. 进口膜厚仪测试探头：
进口的SQM*** 晶振膜厚仪水冷膜厚探头安装基片台附近。膜厚仪用以实时监测镀膜速率和终厚，精度可达±*.*A（*.*nm）,具备与电源联锁功能,工作时,若镀膜达到设置厚度,可自动切断电源,停止镀膜,实现自控膜厚之目的。
*.*. 手动逻辑按钮控制系统：
***.******.***. 整套控制系统采用手动逻辑控制系统，方便用户操作及调节；
***.******.***. 控制内容：
机械泵、分子泵、阀的起、停；在缺水情况下的报警及保护系统；基片台旋转、基片台挡板控制；蒸发源挡板；
*.*. 机架及电控柜
***.******.***. 机架：碳钢喷塑独立机架。
***.******.***. 电控柜：标准电控柜，组装总控制电源、真空系统控制（分子泵、机械泵电源、阀等）、数显真空计、蒸发电源等。柜底下配脚轮，方便移动、定位。
*.*技术参数要求
镀膜室SUS** 不锈钢制作,方箱式，前滑开门及后开门，前后门上均配观察窗。（手套
箱后壁密封无泄漏），腔室配有照明及膜厚仪等接口；
镀膜室内净尺寸: L***×W ***×H***；
真空系统复合分子泵（抽速****L/S）+进口爱德华机械泵,高真空插板阀，水平安装；
真空极限优于*.*×**-*Pa； 抽速：从大气抽至**-*Pa≤**min；
基片台抽屉式结构，承载最大*******mm 基片； 配气动基片台挡板；
基片台磁流体密封，电机驱动，旋转速度*-** 转/分钟可调；
水冷基片台；
可根据客户要求订制* 套固定式掩膜板；
金属蒸发源* 组金属蒸发源， 蒸发电源*Kw * 台（转换供* 组交替蒸发）；
有机蒸发源* 组束源炉式可调角度有机蒸发源，配石英坩埚；独立PID 智能控温式蒸发电源* 台；
蒸发源挡板配独立电气动挡板* 套，源间隔防污隔板。
晶振膜厚控制仪配inficon 的SQM*** 晶振膜厚仪在线监测膜厚，配* 只水冷探头；
控制方式手动逻辑控制及保护系统；
报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况报警并执行相应保护措施；台*******
