北京清华大学电感耦合等离子体通用刻蚀机中标公告
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清华大学电感耦合等离子体通用刻蚀机项目（项目编号：清设招第*******号） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：一、项目信息项目编号：清设招第*******号项目名称：清华大学电感耦合等离子体通用刻蚀机项目联系人：李美珍，王旭东联系方式：********，********二、采购单位信息采购单位名称：清华大学采购单位地址：清华大学采购单位联系方式：李美珍，王旭东 ********，********三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：主要用于微纳加工工艺中刻蚀*英寸及以下Si、介质、金属等材料四、中标信息招标公告日期：****年**月**日中标日期：****年**月**日总中标金额：***.*万元（人民币）中标供应商名称、联系地址及中标金额：中 标 人：北京北方微电子基地设备******地 址：北京市经济技术开发区文昌大道*号中标金额：*******元人民币评标委员会成员名单：王晓东、刁宏伟、龙世兵、张大成、赵广宏、王谦、刘朋中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：电感耦合等离子体通用刻蚀机*套五、其它补充事宜
