北京海淀清华大学等离子体增强化学气相沉积中标公告
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公告概要：公告信息：采购项目名称清华大学等离子体增强化学气相沉积 品目货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表采购单位清华大学行政区域北京市公告时间****年**月**日 **:**本项目招标公告日期****年**月**日中标日期****年**月**日评审专家名单裴丽、陈弘、卢耀文、肖金龙、王健总中标金额￥***.* 万元（人民币）联系人及联系方式：项目联系人李美珍，王旭东 项目联系电话********，********采购单位清华大学采购单位地址清华大学采购单位联系方式李美珍，王旭东 ********，********代理机构名称详见公告正文代理机构地址详见公告正文代理机构联系方式详见公告正文附件：附件*中标公告 *******.doc清华大学等离子体增强化学气相沉积 项目（项目编号：清设招第*******号） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：一、项目信息项目编号：清设招第*******号项目名称：清华大学等离子体增强化学气相沉积 项目联系人：李美珍，王旭东 联系方式：********，********二、采购单位信息采购单位名称：清华大学采购单位地址：清华大学采购单位联系方式：李美珍，王旭东 ********，********三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：主要用于沉积SiO*、SiNx介质膜，核心要求是沉积膜厚（SiO*厚度≥**μm）、沉积温度范围宽（从≤**℃到***℃）、可经受后续退火（退火温度≥***℃）。四、中标信息招标公告日期：****年**月**日中标日期：****年**月**日总中标金额：***.* 万元（人民币）中标供应商名称、联系地址及中标金额：中 标 人：安科瑞泰科技（北京）有限公司地 址：北京市海淀区上地三街*号嘉华大厦A座****室中标金额：*******元人民币评标委员会成员名单：裴丽、陈弘、卢耀文、肖金龙、王健中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：等离子体增强化学气相沉积*套五、其它补充事宜
