上海嘉定8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目刻蚀镀膜等工艺设备采购国际招标澄清或变更公告(2)
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澄清或变更简要说明：招标产品列表变更，购买标书时间变更，开标时间变更，其余内容不******受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目刻蚀镀膜等工艺设备采购国际招标资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:本项目的招标条件已具备*、招标内容招标项目编号:****-************招标项目名称:*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目刻蚀镀膜等工艺设备采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注* Metal Dry Etch *套 干法刻蚀金属铝，需求两个反应腔，VHP+ robot，DOS操作系统，EDTCU功能****年*月**日前交货* SiN Dry Etch *套 干法刻蚀氮化硅，高射频功率高刻蚀率，VHP+ robot，快速的wafer lift机制****年*月**日前交货* Overlay Measurement *套 对准测量，Mean TIS ****年*月**日前交货* Defect Scan *套 缺陷扫描检测，Capture identify defect function=**%
Resolution =*.*um****年*月**日前交货* EDX-SEM *套 电子显微，元素分析，load mapping 功能****年*月**日前交货* Dielectric Layer Deposition *套 化学气相沉积法沉积介电层，用于隔绝电荷导通，结构支撑，单片wafer 反应腔，配置*个反应腔，HP+ robot，DOS 操作系统****年*月**日前交货* Film Thickness Measurement *套 薄膜厚度测试，具备椭偏仪，自动传送功能，Auto Focus，Auto Calibration，Auto Mapping，GOF****年*月**日前交货* *-Probe Resistance Measurement *套 金属薄膜及注入后块电阻测试，集成的自动传送系统，* 个Cassette，H*-FA wafer handler.****年*月**日前交货* IMP Deep Measurement *套 注入后离子深度测试，自动传送及测试功能，Load port Enhancements****年*月**日前交货** ALTIGE Metal Sputter *套 利用物理气相方式将铝钛及锗金属溅射到晶圆片上，DOS 操作系统，配置buffer + transfer Chamber双传送腔，VHP/HP+ robot type****年*月**日前交货*、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:*） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；*） 投标货物可以是全新设备，也可以是翻新后的二手设备，投标人必须在其投标文件中对每项投标货物明确说明（包括生产年份和序列号）；*） 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉；*） 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，且在最近的*年内具有不少于**套本招标文件列表内机台的*寸线工艺设备整机的实际直接供货和装机经验，须提供相应装机数据和客户信息给招标人确认（投标人与客户的交易凭证）；*） 投标人在中国境内应设有售后服务团队，能提供本地化的售后服务；*） 投标人若为代理商，须获得并提供投标货物制造商/翻新厂商出具的针对本项目的独家授权书及售后服务授权书；*） 本项目不接受联合体投标；*） 投标人提供的投标货物中自有机台的估价不少于全部投标货物总额的**%，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标单位提出要求后的*天内接受招标单位对机台真实性的现场查验。*） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://***.******.***）上完成有效注册。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以*、招标文件的获取招标文件领购开始时间:****-**-**招标文件领购结束时间:****-**-**获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼招标文件售价:￥****/$****、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:**投标文件送达地点:中国上海延安西路***号美丽园大厦********会议室开标地点:中国上海延安西路***号美丽园大厦********会议室*、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。*、联系方式招标人:上海******地址:上海市嘉定区城北路***号*号楼联系人:游家杰、周曙华联系方式:**-**-********×****、****招标代理机构:******地址:中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼联系人:张靖姝、王晋联系方式:**-**-********×***、****、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招商银行上海分行曹家渡支行招标代理机构开户银行(美元):PING AN BANK CO., LTD账号(人民币):***************账号(美元):**************其他:Swift Code: SZDBCNBS Beneficiary: Shanghai International Tendering Co Ltd*、其他补充说明其他补充说明:电子信箱：******、wangjin@shabidding.com附件：保密承诺及法定代表人授权书.doc澄清或变更简要说明：null
