上海嘉定上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标中标公告
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公告概要：公告信息：采购项目名称*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标品目货物/通用设备/仪器仪表/试验机/工艺试验机,货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备采购单位上海******行政区域嘉定区公告时间****年**月**日 **:**本项目招标公告日期****年**月**日中标日期****年**月**日评审专家名单杨维垣、毛妞、叶军安、赵振宇、王晓龙总中标金额￥****.*** 万元（人民币）联系人及联系方式：项目联系人张靖姝项目联系电话********-***采购单位上海******采购单位地址上海市嘉定区城北路***号*号楼采购单位联系方式游家杰、周曙华，********×****、****代理机构******代理机构地址中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼代理机构联系方式张靖姝、王晋，********×***、***附件：附件*评标结果公示公告.pdf******受上海******的委托，就*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标项目（项目编号：****-************）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：一、项目信息项目编号：****-************项目名称：*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标项目联系人：张靖姝联系方式：********-***二、采购单位信息采购单位名称：上海******采购单位地址：上海市嘉定区城北路***号*号楼采购单位联系方式：游家杰、周曙华，********×****、****三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：（*）项目用途：*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目。（*）简要技术要求： 品目号 货物名称 简要技术说明 * Un-dope Poly Furnace 低压条件下，生成非掺杂多晶硅。 * Thermal OX Furnace 常压条件下，进行气体反应，生成高温氧化膜 * LP LTO Furnace 低压条件下，进行气体反应，生成低温氧化膜 * LP TEOS Furnace 低压条件下，进行气体反应，生成高温氧化膜 * LP SIN Furnace 低压条件下，进行气体反应，生成氮化硅 * Low Stress Poly Furnace 低压条件下，生成非掺杂的低应力多晶硅 * Drive in Furnace 常压条件下，高温推进 * Anneal Furnace 常压条件下，高温退火 * Alloy Furnace 低压条件下，低温合金 ** Photoresist Strip 清洁和去除刻蚀后晶圆片表面的光刻胶 ** Photoresist Descum 对晶圆片的光刻胶表面进行处理，去除曝光区局部光阻残留 ** Backside wet etch clean 利用化学品对单片晶圆片进行背面清洗 ** COT and DEV 匀胶、烘烤、显影 ** IL Step Exposure I线曝光，用于线宽大于*.**um的工艺 ** CD-Measurement 对*寸晶圆片的关键尺寸进行测量 ** Single Wafer Scrubber 利用刷头、Jet或AS对单片晶圆片进行清洗，减少颗粒度及粘污 （*）合同履行期：****年*月**日前交货四、采购代理机构信息采购代理机构全称：******采购代理机构地址：中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼采购代理机构联系方式：张靖姝、王晋，********×***、***五、中标信息招标公告日期：****年**月**日中标日期：****年**月**日总中标金额：****.*** 万元（人民币）中标供应商名称、联系地址及中标金额： 序号 中标供应商名称 中标供应商联系地址 中标金额(万元) * ****** 中国台湾新竹县竹北市保泰三路**号 ****.*** 评审专家名单：杨维垣、毛妞、叶军安、赵振宇、王晓龙中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：（*）中标标的：炉管等工艺设备（*）规格型号：ALPHA-*SE等（*）数量：*批（*）单价：USD **,***,***.**（*）服务要求：设备供货及相关伴随服务六、其它补充事宜（*）本项目的中标金额为USD **,***,***.**。（*）本项目的评标结果已在中国国际招标网（网址为：http://***.******.***）上发布，如投标人或其他利害关系人对公示的评标结果有异议请在公示期内按有关规定提出。
