上海青浦上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目湿法工艺设备及供液系统采购中标公告
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公告概要：公告信息：采购项目名称*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目湿法工艺设备及供液系统采购品目货物/通用设备/电气设备/半导体逆变设备,货物/通用设备/电气设备/半导体直、变流设备,货物/通用设备/电气设备/电机调速用半导体变流设备,货物/通用设备/电子和通信测量仪器/元件器件参数测量仪/半导体器件参数测量仪采购单位上海******行政区域上海市公告时间****年**月**日 **:**本项目招标公告日期****年**月**日中标日期****年**月**日评审专家名单张贵荣、杨维垣、曾庆光、程振洲、徐元俊总中标金额￥****.* 万元（人民币）联系人及联系方式：项目联系人鲍琦项目联系电话**-**-********×***采购单位上海******采购单位地址上海市嘉定区城北路***号*号楼采购单位联系方式游家杰、邱鹏，**-**-********×****、****代理机构******代理机构地址中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼代理机构联系方式鲍琦、张靖姝、王晋，**-**-********×***、***、***附件：附件*必联网-中标结果公示.pdf******受上海******的委托，就*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目湿法工艺设备及供液系统采购项目（项目编号：****-************）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：一、项目信息项目编号：****-************项目名称：*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目湿法工艺设备及供液系统采购项目联系人：鲍琦联系方式：**-**-********×***二、采购单位信息采购单位名称：上海******采购单位地址：上海市嘉定区城北路***号*号楼采购单位联系方式：游家杰、邱鹏，**-**-********×****、****三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：（*）项目用途：*寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目。（*）简要技术要求： 品目号 货物名称 简要技术说明 * RCA自动清洗机台 半导体前段清洗 * Solvent自动清洗机台 半导体后段清洗 * 多功能湿法刻蚀手动机台 氧化硅、氮化硅、多晶硅刻蚀和湿法槽显影 * AI湿法腐蚀手动机台 铝的湿法腐蚀 * 供液系统 湿法设备附属供液系统 （*）合同履行期：****年*月**日交货四、采购代理机构信息采购代理机构全称：******采购代理机构地址：中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼采购代理机构联系方式：鲍琦、张靖姝、王晋，**-**-********×***、***、***五、中标信息招标公告日期：****年**月**日中标日期：****年**月**日总中标金额：****.* 万元（人民币）中标供应商名称、联系地址及中标金额： 序号 中标供应商名称 中标供应商联系地址 中标金额(万元) * ****** 上海市青浦区朱家角镇康业路***弄**号*幢二层Y区***室 ****.* 评审专家名单：张贵荣、杨维垣、曾庆光、程振洲、徐元俊中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：（*）中标标的：湿法工艺设备及供液系统（*）规格型号：STD_CLEAN等（*）数量：*批（*）单价：RMB **,***,***.**（*）服务要求：设备供货及相关伴随服务六、其它补充事宜（*）本项目的中标金额为RMB **,***,***.**。（*）本项目的评标结果已在中国国际招标网（网址为：http://***.******.***）上发布，如投标人或其他利害关系人对公示的评标结果有异议请在公示期内按有关规定提出。
