北京朝阳中国科学院大连化学物理研究所脉冲激光分子束外延沉积系统竞争性谈判采购项目中标公告
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公告概要：公告信息：采购项目名称中国科学院大连化学物理研究所脉冲激光分子束外延沉积系统竞争性谈判采购项目品目货物/通用设备/仪器仪表/其他仪器仪表采购单位中国科学院大连化学物理研究所行政区域北京市公告时间****年**月**日 **:**本项目招标公告日期****年**月**日中标日期****年**月**日评审专家名单黎展、姜秀杰、施品莹（用户代表）总中标金额￥*** 万元（人民币）联系人及联系方式：项目联系人王军项目联系电话***-********-**** 采购单位中国科学院大连化学物理研究所采购单位地址大连市中山路***号 ******采购单位联系方式张老师；****-********代理机构名称******代理机构地址北京市海淀区阜成路**号 银都大厦**层 邮 编：****** 代理机构联系方式王军； ********-**** 附件：附件*中科院竞谈采购文件--发布--脉冲激光沉积系统-提交科技处********---***--*--发布.doc******受中国科学院大连化学物理研究所的委托，就中国科学院大连化学物理研究所脉冲激光分子束外延沉积系统竞争性谈判采购项目项目（项目编号：OITC-G********）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：一、项目信息项目编号：OITC-G********项目名称：中国科学院大连化学物理研究所脉冲激光分子束外延沉积系统竞争性谈判采购项目项目联系人：王军联系方式：***-********-**** 二、采购单位信息采购单位名称：中国科学院大连化学物理研究所采购单位地址：大连市中山路***号 ******采购单位联系方式：张老师；****-********三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期： 包号 项目名称 预算 数量 主要技术规格 交货期 交货地点 * 脉冲激光分子束外延沉积系统 ***万元 *套 系统包括如下几个组成部分：*）沉积室；*）样品台系统；*）靶材台系统；*）真空实现及控制系统；*）光学组件包；*）软件控制系统；其应具备的性能指标为：* *球形沉积腔体，沉积腔真空度优于****-* Torr；* 预留升级反射高能电子衍射仪、脉冲电子枪、磁控溅射、在线等离子动能谱仪、发射光谱、残余气体分析器等接口* 加热器*.* 加热器最高加热温度 ***℃，*.* 温控精度*℃；*.* 温度不均匀性*%；* 样品台系统*.* *可沉积*”基片，片内均匀性小于±*%*.* 样品托水平面内***度自转，速率不小于**RPM，精度*.**度；* 靶材台系统*.* *可同时安装*个及以上*英寸靶材，每个靶材均可自转、公转和摆动；*.* 自转速率不小于** RPM，摆动速率不小于**度/秒；* * LABVIEW****控制软件*.* 计算机控制的连续组成沉积功能；*.* 自动控制激光器、马达、温度、质量流量计、分子泵及沉积室气压等功能。* 光路系统：*.* 脉冲波长：*** nm (KrF)*.* *激光束入射角：**度，**度激光反射镜*个，激光聚焦镜*个，光路系统、*.* 激光束保护系统、光学平台。* 工业型计算机（配备工业型计算机, 电脑配置为一个工业* u机架式电脑，*** W ATX电源，最新的四核CPU，双硬盘系统，***GB两个，**寸显示器*个，保证设备**小时工作） 合同签定后*个月内交货 中国科学院大连化学物理研究所（辽宁省大连市中山路***号） 四、采购代理机构信息采购代理机构全称：******采购代理机构地址：北京市海淀区阜成路**号 银都大厦**层 邮 编：****** 采购代理机构联系方式：王军； ********-**** 五、中标信息招标公告日期：****年**月**日中标日期：****年**月**日总中标金额：***.* 万元（人民币）中标供应商名称、联系地址及中标金额： 包号 产品名称 规格型号 数量 服务要求 中标金额 中标供应商名称 中标供应商地址 * 脉冲激光分子束外延沉积系统 P*** *套 质保*年 ******美元 ****** 北京市朝阳区胜古中路*号院*号楼 评审专家名单：黎展、姜秀杰、施品莹（用户代表）中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：详见其它补充事宜六、其它补充事宜 包号 项目名称 预算 数量 主要技术规格 交货期 交货地点 * 脉冲激光分子束外延沉积系统 ***万元 *套 系统包括如下几个组成部分：*）沉积室；*）样品台系统；*）靶材台系统；*）真空实现及控制系统；*）光学组件包；*）软件控制系统；其应具备的性能指标为：* *球形沉积腔体，沉积腔真空度优于****-* Torr；* 预留升级反射高能电子衍射仪、脉冲电子枪、磁控溅射、在线等离子动能谱仪、发射光谱、残余气体分析器等接口* 加热器*.* 加热器最高加热温度 ***℃，*.* 温控精度*℃；*.* 温度不均匀性*%；* 样品台系统*.* *可沉积*”基片，片内均匀性小于±*%*.* 样品托水平面内***度自转，速率不小于**RPM，精度*.**度；* 靶材台系统*.* *可同时安装*个及以上*英寸靶材，每个靶材均可自转、公转和摆动；*.* 自转速率不小于** RPM，摆动速率不小于**度/秒；* * LABVIEW****控制软件*.* 计算机控制的连续组成沉积功能；*.* 自动控制激光器、马达、温度、质量流量计、分子泵及沉积室气压等功能。* 光路系统：*.* 脉冲波长：*** nm (KrF)*.* *激光束入射角：**度，**度激光反射镜*个，激光聚焦镜*个，光路系统、*.* 激光束保护系统、光学平台。* 工业型计算机（配备工业型计算机, 电脑配置为一个工业* u机架式电脑，*** W ATX电源，最新的四核CPU，双硬盘系统，***GB两个，**寸显示器*个，保证设备**小时工作） 合同签定后*个月内交货 中国科学院大连化学物理研究所（辽宁省大连市中山路***号）
