辽宁大连大连理工大学光刻机单一来源公告
查看隐藏内容（*）需先登录
根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对大连理工大学光刻机进行单一来源招标，欢迎合格的供应商前来投标。项目名称：大连理工大学光刻机项目编号：DUTASD-******* 项目联系方式：项目联系人：宋亮项目联系电话：****-********采购单位联系方式：采购单位：大连理工大学采购单位地址：中国大连高级经理学院*号楼大连理工大学采购与招标管理中心***室（大连市高新园区红凌路***号）采购单位联系方式：宋亮；******.cn一、拟采购的货物或者服务的说明:本项目拟采购一台光刻机，其分辨率为*.*微米，均匀度为正负*.*%。同时，支持大景深的加工制作。供应商负责供货、安装及售后。二、采用单一来源采购方式的原因及相关说明:本项目制作的纳米线尺寸只有几十纳米，因此需要高精度的制作仪器来制作整齐的、高质量的纳米线，光刻机是能满足本需的仪器之一。本项目在制作高灵敏度高精度的图像传感器时需要超高精度的加工手段来生长纳米线，因此对分辨率的需求要在*微米以下，目前世界上最高精度为*.*微米。其次，对薄膜的均匀度有极高的要求，最少要达到正负*.*%，这就保证了本项目在光刻胶上制作图案及生长的纳米线的长度、宽度的均匀性，对之后制作出的超高精度图像传感器的均匀性有着决定性的作用。同时，本项目还需要大景深的加工制作，对已经制作出来的图案进行二次加工，用于对纳米线生长部位进行再加工，能够更加保证纳米线的均匀性生长。本项目拟购置的MJB*的精度可以达到*.*微米，均匀度可以达到*.*%，同事具有大井深加工功能。目前国内仪器的精度都在*微米以上，不满足使用需求。国外其他制造商的产品精度都在*微米以上，也不满足本项目的实验需求，且不具备大井深刻蚀功能。综上所述，只有SUSS公司的MJB*产品能够满足本项目的需要，故只能从唯一供应商处采购。三、开标时间：****年**月**日 **:**四、拟定的唯一供应商名称及其地址：制造商名称：The SUSS MicroTec Group代理商名称：******地址：辽宁省大连市甘井子区宏伟街**号*单元*层*号五、其它补充事宜六、预算金额预算金额：***.* 万元（人民币）
