上海浦东原子层沉积氧化铝炉国际招标公告(2)
查看隐藏内容（*）需先登录
******受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 *、招标条件 项目概况:用于**英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺，满足**nm及以下的工艺研发及量产需求。 用于**英寸集成电路生产企业的键合退火工艺，满足**nm及以下的工艺研发及量产需求 满足**英寸集成电路生产企业的**nm工艺研发和量产要求，用于铜化学机械研磨设备（顶层金属层） 资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位，具备了招标条件。 项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位，具备了招标条件。 *、招标内容 招标项目编号:****-************/** 招标项目名称:原子层沉积氧化铝炉 项目实施地点:中国上海市 招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 * 原子层沉积氧化铝炉 *台 用于**英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺，满足**nm及以下的工艺研发及量产需求。 * 键合退火炉 *台 用于**英寸集成电路生产企业的键合退火工艺，满足**nm及以下的工艺研发及量产需求 * 铜化学机械研磨设备（顶层金属层） *台 满足**英寸集成电路生产企业的**nm工艺研发和量产要求，用于铜化学机械研磨设备（顶层金属层） *、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:*）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织； *）投标人或投标货物的制造商须具备向**英寸集成电路制造企业提供此类设备的供货和安装调试经验； *) 法律、行政法规规定的其他条件。 是否接受联合体投标:不接受 未领购招标文件是否可以参加投标:不可以 *、招标文件的获取 招标文件领购开始时间:****-**-** 招标文件领购结束时间:****-**-** 是否在线售卖标书:否 获取招标文件方式:现场领购 招标文件领购地点：上海市长寿路***号恒达广场**楼（******） 招标文件售价:￥****/$*** *、投标文件的递交 投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:** 投标文件送达地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼（******） 开标地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼（******） *、投标人在投标前需在招标网上完成注册。 *、联系方式 招标人:上海****** 地址:上海市浦东新区张江高科技园区***号 联系人:吴正祺 联系方式:**-**-******** 招标代理机构:****** 地址:上海市长寿路***号恒达广场**楼（******） 联系人:张伟 潘永亮 联系方式:**-**-******** *、汇款方式: 招标代理机构开户银行(人民币):中国建设银行上海市分行营业部 招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行上海市分行营业部 账号(人民币):******************** 账号(美元):********************
