广东深圳2英寸单靶射频直流磁控溅射仪
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基本信息：申购单主题：*英寸单靶射频直流磁控溅射仪申购单类型：竞价类设备类别：仪器仪表使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:**竞价结束时间：****-**-** **:**竞价已结束申购备注：从黄传威老师的科研经费中支出。 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理由莱华尔科技（深圳）有限公司*英寸单靶射频直流磁控溅射仪*合肥科晶VTC-*RF按行业标准由原生产******提供服务"一、射频电源
*、输入电源：***V
*、输出功率：*-***W
*、输出频率：**.** MHZ
*、冷却方式：设备内部的冷却方式为风冷
*、尺寸：***（长）****（宽）****mm（高）
二、直流电源
*、输入电源：***V
*、直流输出功率：*-***W
*、最大工作电流：*.**A
*、冷却方式：设备内部的冷却方式为风冷
*、尺寸： **mm****mm****mm
三、溅射腔室
*、石英钟罩：***mm OD. x ***mm ID x ***mm Height
*、法兰盖：铝材
*、腔室极限真空度配置机械泵*****.*供货商报价错误，要求废标重新竞价
