上海浦东张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目公开招标公告
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******受中国科学院上海高等研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项***mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项***mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目项目编号：********项目联系方式：项目联系人：赵丽莉项目联系电话：**-**-********×***采购单位联系方式：采购单位：中国科学院上海高等研究院地址：上海市浦东新区海科路**号联系方式：黄雨辰、**-********代理机构联系方式：代理机构：******代理机构联系人：赵丽莉、**-**-********×***代理机构地址： 中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：本次采购货物为：晶圆片喷雾清洗设备：一台/套，用于刻蚀、注入后残留物的清洗，化学液包括DHF、SPM、SC*；晶圆手动清洗设备：一台/套，用于氧化硅、氮化硅、硅材料的湿法刻蚀和清洗，化学液包括DHF、H*PO*、BOE、TMAH；化学液供给设备：一套，用于清洗设备的现场化学液供给。二、投标人的资格要求：（*） 符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的规定，即应符合下列条件：（a） 具有独立承担民事责任的能力；（b） 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（c） 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（d） 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（e） 参加政府采购活动前三年内（从****年*月*日至今），在经营活动中没有重大违法记录。为此，投标人应按《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条第一款的规定在投标文件中提供下列证明材料和书面声明：（a） 法人或者其他组织的营业执照等证明文件，自然人的身份证明；（b） 经有相应资质的会计师事务所审计的财务报告（含报告正文、资产负债表现金流量表和利润表），投标截止时间前最近一期依法缴纳税收的凭证以及依法缴纳社会保障资金的相关证明材料（提供由当地社保中心在内出具的含有参保人数信息的交纳社保资金证明材料）的复印件；（c） 具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料；（d） 参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明。（*） 根据《上海市政府采购供应商登记及诚信管理办法》已登记入库（供应商在投标文件中应提供其已登记入库的网页截面或其他证明）。（*） 近三年（从****年*月*日至今）未被国家财政部指定的“信用中国”网站（***.******.***.cn）官方渠道列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信名单。（*） 法人的分支机构以自己的名义参与投标时，应提供依法登记的相关证明材料和由法人出具的对该投标活动承担全部直接责任的明确承诺；（*） 投标人的出资人与本项目其他投标人的出资人应不相同（当两家以上投标人的出资人中含有同一自然人时，将按一家有效投标人计算，该投标人为相关投标人中投标报价最低且不存在投标被否决项的投标人，其他投标人将被判为无效投标人）；（*） 投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，有不少于一年的实际生产运行项目业绩（不接受新研制产品），投标人须具有湿法刻蚀设备的整机直接供货和装机经验（须提供验收证明文件或用户证明文件）；（*） 本项目不接受联合体投标。三、招标文件的发售时间及地点等：预算金额：***.* 万元（人民币）时间：****年**月**日 **:** 至 ****年**月**日 **:**(双休日及法定节假日除外)地点：中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼招标文件售价：￥****.* 元，本公告包含的招标文件售价总和招标文件获取方式：至现场购买四、投标截止时间：****年**月**日 **:**五、开标时间：****年**月**日 **:**六、开标地点：中国上海延安西路***号美丽园大厦**楼会议室（见电子屏幕）七、其它补充事宜八、采购项目需要落实的政府采购政策：本项目资金来源已经落实。
