浙江绍兴中芯集成电路制造（绍兴）有限公司高真空金属溅射机国际招标公告(2)
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******受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件*、招标内容招标项目编号:****-************/**招标项目名称:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司高真空金属溅射机项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注* 包件*：*.等离子体深硅孔刻蚀机*.准常压化学气相淀积机各*台 *.(*). 实现硅孔直径*.**um 深度*.*um刻蚀(*). 实现硅孔角度在**度。(*). 实现侧壁光滑，无损伤。 *.实现大于**% 填孔率的氧化薄膜淀积* 包件*:*.场氧化层生长反应炉*.掺杂多晶硅生长反应炉 *.*台 *.*台 *.实现场氧化层生长，达到厚度及均匀性指标 *.实现掺杂多晶硅层的生长，达到厚度及均匀性指标* 包件*:干泵 **台 Typical peak pumping speed ***-*** (m*/h)(**台) Typical peak pumping speed ***-*** (m*/h)(*台) Typical peak pumping speed *** / ****(m*/h)(*台) Typical peak pumping speed =****(m*/h)(*台)* 包件*:*.等离子式尾气处理设备 *.燃烧加水洗式尾气处理设备*台 *台 *.(*)Plasma type and work temperature ****℃
(*)PFC Process Gas Efficiency**%
*.(*)Thermal-Wet type and work temperature ***℃
(*)NF*,DCS Process Gas Efficiency**%
* 包件*:等离子体钨金属刻蚀机 *台 （*）. 实现**纳米级别钨金属刻蚀
（*）. 实现钨金属角度在**度。
（*）. 实现侧壁光滑，无损伤。
* 包件*:*.背面硅刻蚀机 *.钼金属（无光阻）湿法刻蚀机 各*台 *.实现晶圆背面硅刻蚀，达到厚度及均匀性指标 *.实现晶圆表面钼金属的湿法刻蚀* 包件*：晶圆自动装载光学显微镜 *台 实现**~****um厚度*英寸晶圆非接触式自动传送及宏观微观检查* 包件*：温控器 *台 *.氟化液型chiller
*.冷却能力=*KW
*.设定温度范围-**—**℃
* 包件*：高真空离子镀膜金属溅射机 *台 实现高深宽比（*:*）沟槽的粘合层金属薄膜溅射沉积** 包件**：*.WAT 测试机 *.WAT网络分析仪 各*台 WAT频率测试** 包件**：WAT 探针机 *台 WAT自动探针机台** 包件**：高真空金属溅射机 *台 实现片内高均匀性的金属薄膜溅射沉积** 包件**：等离子体平坦化氮化铝膜层刻蚀机 *台 （*）. 实现氮化铝刻刻蚀精准度在**埃级别
（*）. 实现氮化铝刻刻蚀平坦化在百分之零点一级别
（*）. 实现各区域选择与非选择区域处理。** 包件**：等离子体氮化铝和钼金属刻蚀机 *台 （*）. 钼金属刻蚀完角度要求在**+/-**度
（*）. 钼金属和氮化铝刻蚀完膜厚的平整度要求在百分之五以内。
（*）. 实现钼和氮化铝膜侧壁光滑，无损伤。
** 包件**：低应力氮化硅生长反应炉 *台 实现场低应力氮化硅层的生长，达到厚度及均匀性指标** 包件**：*.氮化铝（无光阻）湿法刻蚀机 *.钼/金 金属湿法剥离机 各*台 *.实现晶圆表面氮化铝的刻蚀 *.实现晶圆表面钼/金金属剥离** 包件**：标准机械操作界面 **台 Cycling run =*** without
Alarm
*、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:*）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。*）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以*、招标文件的获取招标文件领购开始时间:****-**-**招标文件领购结束时间:****-**-**是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：上海市长寿路***号恒达广场**楼（******）招标文件售价:￥***/$***、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:**投标文件送达地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼开标地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼开标大厅*、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。*、联系方式招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路***号联系人:凌大鹏联系方式:+**-**-********招标代理机构:******地址:上海市长寿路***号联系人:应秋祺 王鼎 潘永亮联系方式:**-**-*********、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招标代理机构开户银行(美元):账号(人民币):账号(美元):
