上海张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目重新招标澄清或变更公告(1)
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招标项目编号：****-************项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项***mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目项目名称(英文)：Bid of Procurement for Local Tail Gas Treatment of Photolithographic Measurement Project of Pudong Science and Technology Park招标人：中国科学院上海高等研究院招标机构：******招标机构代码：****招标方式：公开招标投标报价方式：线下投标招标结果：重新招标
