( 深圳大学高真空多源蒸镀仪 )需求公示项目名称深圳大学高真空多源蒸镀仪 是否预选项目否 采购人名称深圳大学 采购方式公开招标 财政预算限额（元）*,***,***.** 项目背景高真空多源蒸镀仪提供有机、无机多源气相分子沉积系统，适应特定的有机和无机薄膜实验室制备。主要用于有机电致发光（OLED）器件、有机太阳能电池（OPV）等光电器件的研究工作。 投标人资质要求*）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）； *）本项目不接受联合体投标，不允许分包；接受进口 *）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）； *）（*.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求； *.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求； *.不得违反《深圳经济特区政府采购条例实施细则》第三十四条的规定。） 货物清单序号采购计划编号货物名称 数量单位备注财政预算限额(元)*PLAN-****-******-****** 高真空多源蒸镀系统 *.* 台 允许进口 *******.* 具体技术要求序号货物名称招标技术要求*设备组成*.*主机主要由以下几部分构成：镀膜真空腔、真空系统、水冷系统、热阻与有机蒸发系统、膜厚检测系统、控制系统等。*镀膜工艺腔体**.*方箱型***不锈钢腔体；尺寸不小于***mm宽 x ***mm深 x***mm 高。*.*采用胶圈密封，左右平移式铝制前开门，前门用于集成手套箱，有气动锁紧装置。门上需配有观察窗，并安装手动观察窗挡板。*.*胶圈密封，左右平移式铝制后门，用于设备维护。门上需配有观察窗与手动挡板。*.*用于安装真空泵、真空计以及其他仪器的接口，并尽可能配有空余的备用法兰口。*.*配有气动充气阀，可连接高纯氮气。*.*两套不锈钢腔室内衬，一套安装在腔室内，一套备用。*真空泵系统**.*前级泵采用抽速不低于*.*cfm的涡旋干泵，参照Edwards，Pfeiffer，Leybold等品牌提供同档次或高于其档次的品牌。**.*主泵采用抽速≥**** L/S低温泵，参照CTI，Edwards， Leybold等品牌提供同档次或高于其档次的品牌，并配有相应气动放气阀与前级粗抽阀。*.*系统的极限压强可达≤*x**-*Torr。*.*自动抽气控制，带安全互锁功能。*.*配有前级管路等相应的硬件。*真空测量系统*.*主真空室配有全量程真空计，测量范围为大气至**-*mbar*.*主泵和前级泵之间配有粗真空计。*.*真空度读数可在系统控制面板上显示。*系统框架*.*集成总控电源，在设备框架上安装有紧急停车按钮。*.*配置有滚轮与水平支脚*.*独立的电控柜，电控柜和设备之间通过约为*米的线缆连接。*热阻蒸发源▲*.*配有四组标准热阻蒸发源，蒸发源电极水冷。配有相应气动挡板。▲*.*配置两套不小于*kw蒸发电源及相应变压器，最大电流要求***A@**V，或者***A@*V，可以满足四组蒸发源连续蒸发，同时可以满足两个金属蒸发源共蒸发工艺。*.*蒸发源之间有防止交叉污染的挡板。▲*.*四组热蒸发源外面安装有水冷的热屏蔽装置。*有机蒸发源**.* **组低温蒸发源，坩埚容量**cc，加热温度为**-***℃，可以实现恒温控制和恒沉积速率控制蒸发工艺，低温源温度控制精度优于+/-*℃。其中有*个有机源带水冷。*.*低温源需要采用可插拔式设计，方便维护。*.*每组蒸发源都带一个独立的气动上下开关的挡板。*.*蒸发源之间有防止交叉污染的屏蔽挡板，挡板易于拆卸清洗。▲*.*相应低温蒸发源电源，满足**个有机源连续蒸发和不少于*个有机源的共蒸发工艺。**.*共蒸发时的掺杂比最小可控比例可达***:*。*. *.* **组低温/高温蒸发源安装在可旋转平台上，手动往复旋转便于对每一组蒸发源填料或维护。*样品台*.*顶部安装样品台。可放置不小于***mmX***mm基片。 *.*样品台带电机驱动实现连续旋转，最大转速可达**转/分钟。*.*样品台带有气动上下开的双基片挡板。*掩膜库**.*系统需配有掩膜库装置，至少四层掩膜放置架与一层基片放置架。▲*.*配置电机驱动掩膜传递杆与Z轴升降装置，可实现真空内掩膜自动更换交接。*.*至少配置一个基片托盘与三个掩膜托盘，基片托盘与掩膜托盘交接的加工精度可达±**.*μm。**楔形膜工具***.*电机驱动楔形膜工具，在基片下方安装一个电机驱动的可以线性往复移动的挡板，此挡板的移动速度可以调节，并且可以在任意设定位置固定。整个装置可以随基片一起旋转。**.*次挡板可以遮挡的基片有效面积为不小于***mm x ***mm。**.*此楔形工具通过编程控制用于镀制台阶膜或者楔形膜。**膜厚控制系统**.*至少配置*个标准晶振头分别安放于基底或者蒸发源附近，晶振探头蒸发电源功率闭环控制，用于控制电源参数和蒸发源挡板开关。**.*膜厚控制程序集成在设备整体控制程序。**.*沉积速率读数精度可达*.*A/S，并可以曲线显示沉积速率变化。**电脑程序控制系统**.*用户通过Windows 系统平台操作运行设备。**.*独立的实时控制系统（RTC）来实现设备操控。**.*RTC提供独立操作，计算机用于输出或者输入设备运行状态，计算机死机或者程序退出不影响设备正常运行。**.*配置触摸屏监控界面与操作键盘。**.*电脑提供RTC监督界面，监控真空操作，运动传递，维护与沉积工艺部件。**.*所有屏幕显示设置按照SEMI E**-****规范执行(半导体制造设备的接口规范)。**.*界面包含：直观的显示和系统状态信息，用户登入、登出，操作方式和操作中止：真空界面：直观的显示阀门状态，泵的状态和真空度。沉积界面：显示挡板状态，沉积源状态，沉积材料类型。气路界面：质量流量控制器的模式，气阀状态，压力测量和控制显示。运动界面：显示和输入的速度以及PID参数。冷却界面：水冷互锁状态。加热界面：温度设定参数和控制参数。**.*可将工艺数据、用户登录信息等输出到.csv文件。**.*全自动程序控制，带有标准的抽真空、放气和镀膜工艺。**.**带有*级密码保护功能，针对不同级别的用于可以设置不同的权限。**.**带有安全互锁功能，避免误操作对设备造成损害。**.**设备联网后，可以实现远程操作或监视设备运行，方便操作和维护。**.**程序包含在线自动生成曲线功能，可以将设备运行参数自动按照曲线模式显示。**水冷系统**.*系统需要冷却的部件必须水冷，如低温泵、蒸发电极等，截止阀开关各路冷却水路，设备配有必须的冷却水安全互锁设计，以保护设备。**电源要求**.*提供设备具体的电源需求（推荐***V、**Hz、*相、*线电源或自带变压器），配紧急停车按钮，相应的安全互锁装置。**验收指标***.* ***mm X ***mm基片成膜均匀性：优于±*%。**其他指标 无商务需求 序号目录招标商务需求（一）免费保修期内售后服务要求*免费保修期保修期为自安装验收合格之日起一年。在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，卖家负责免费维修。设备供应商提供终身维修，并保证保修期满后不低于五年的零配件及消耗品的供应。*维修响应及故障解决时间在质量保证期内，由于卖方的原因而出现故障，承诺在**小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题应在**小时或其它无法迅速解决的问题应在**小时解决或提出明确的解决方案，其费用由卖方负担。*其他投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。（二）其他商务要求*关于交货*.*签订合同后 *** 天（日历日）内。*.*仪器到货后，厂家需在接到用户通知后**个工作日内进行安装调试直至达到验收指标；提供*名用户管理人员的现场操作使用及基本维护的免费培训。*关于验收*.*投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，验收后，由投标人提供产品保修文件。*.*当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。c、货物具备产品合格证。*.*验收标准：实现系统成套联调并达到标书的技术要求。*.其他要求交货时，随设备提供维护操作手册和维修图。******。有专业的售后服务人员。供应商在国内设有仓库，以保证备用零配件的供应。 备注：*. “（一）免费保修期内售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。*. “（二）免费保修期外售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。*. “（三）其他商务要求”部分，如有补充，请详细列明。技术规格偏离表 序号货物名称招标技术要求投标技术响应偏离情况说明 商务规格偏离表 序号目录招标商务条款投标商务条款偏离情况说明（一）免费保修期内售后服务条款偏离表* * …… （一）免费保修期外售后服务条款偏离表* * …… （三）其他商务条款偏离表* * …… 评标信息 序号评分项权重*价格***技术部分** 序号评分因素权重评分方式评分准则 *技术保障措施*专家打分在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优***分，良**分，中**分，差*分打分。 *技术规格偏离情况**专家打分*. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得***分；标注“*”的为必须满足条款，如有负偏离，该投标人的投标文件即被认定为没有实质满足招标文件的要求；标注“▲”的 为重要条款，每负偏离一项扣**分；其他为普通条款，每负偏离一项扣*分；扣完为止。*商务需求* 序号评分因素权重评分方式评分准则 *免费保修期内售后服务条款偏离情况*专家评分投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得***分，每负偏离一项扣**分。 *其他商务条款偏离情况*专家评分投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得***分，每负偏离一项扣**分。* 诚信情况 * 序号评分因素权重评分方式评分准则 *履约*专家评分近三年（以投标截止日期为准）在市政府采购中心有履约评价为差的记录，本项不得分，否则得满分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。 *诚信*专家评分根据《深圳市财政委员会关于印发〈深圳市政府采购供应商诚信管理暂行办法操作细则〉的通知》（深财购[****]**号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题且在主管部门相关处理措施实施期限内的，本项不得分，否则得满分。投标人无需提供任何证明材料，由工作人员向评审委员会提供相关信息。* 综合实力 * *投标人近三年同类业绩*专家评分提供*个同类业绩即得满分，提供*个得**分，提供*个得**分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分 其它详见附件附件高真空多 源蒸镀仪****.docx