上海张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目重新招标评标结果公示公告(1)
查看隐藏内容（*）需先登录
项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项***mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目重新招标招标项目编号：****-************招标范围：光刻后测量设备：*台。招标机构：******招标人：中国科学院上海高等研究院开标时间：****-**-** **:**公示开始时间：****-**-** **:**评标公示截止时间：****-**-** **:**中标候选人名单：候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区*******HITACHI日本*上海陛通半******KLA美国
