上海张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目重新招标中标结果公告(1)
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项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项***mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目重新招标项目编号：****-************招标范围：光刻后测量设备：*台。招标机构：******招标人：中国科学院上海高等研究院开标时间：****-**-** **:**公示时间：****-**-** **:** - ****-**-** **:**中标结果公告时间：****-**-** **:**中标人：******制造商：HITACHI制造商国家或地区：日本
