上海张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目重新招标招标无效公告(1)
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招标项目编号：****-************项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项***mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目重新招标项目名称(英文)：Bid of Procurement for Deep Ultraviolet Exposure of Silicon Photon Project of Pudong Science and Technology Park招标人：中国科学院上海高等研究院招标机构：******招标机构代码：****招标方式：公开招标投标报价方式：招标结果：无中标人
