北京ACE清洗机、酸类清洗机和去蜡清洗设备国际招标澄清或变更公告(3)
查看隐藏内容（*）需先登录
澄清或变更简要说明：变更包**设备数量苏******受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:包* 自动曝光机 *包* 匀胶机 *包* 显影机 **包*品目* 去胶清洗机 **包*品目* 去蜡清洗设备 *包*品目* ACE清洗机(*槽) *包*品目* ACE清洗机(*槽) *包*品目* 酸类清洗机（*槽BOE+*槽ITO） *包*品目* 酸类清洗机（*槽BOE） *包*品目* 酸类清洗机（*槽***+*槽HCL） *包*品目* 酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版） *包*品目* 酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版） *包*品目* 去蜡清洗设备 *包* 旋干机 **包* 旋干机 **包* 自动干法刻蚀机 **包* ITO溅射镀膜机 *包** 快速退火炉（*片机） *包** 电子束蒸发机 **包** 合金炉管 *包** 等离子体增强化学沉积机台 **包** 分布式布拉格反射镜 *包** 等离子去胶机（Asher） **包** 膜厚仪器 *包** 金相显微镜 *包** 全自动目检机COW（AOI） *包** 金属溅射镀膜机 *包** 椭偏仪 *包**品目* 高温老化系统（***mA/*K/**V） *包**品目* 常温老化系统（***mA/*K/**V） *包**品目* 高压老化电流源（***mA/*K/**V） *包** 自动推力机 *包**品目* 吸附式氮气纯化器 *包**品目* 吸附式氢气纯化器 *包**品目* 吸附式氨气纯化器 *资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备*、招标内容招标项目编号:****-****SUMECK**/**招标项目名称:ACE清洗机、酸类清洗机和去蜡清洗设备项目实施地点:中国福建省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注包* 自动曝光机 * 单台月产能大于*****片，计算方法：WPH********.**(系数) (含套刻产能：*秒曝光时间，及基片厚度补偿时间)包* 匀胶机 * 产能：单台月产能≥*****片
单台月产能计算公式：WPH(一小时产量)***（小时）***（天）**.**(系数) ≥*****片包* 显影机 ** 显影CUP单元≥*组 包*品目* 去胶清洗机 ** 制程槽：SPR（循环）**、IPA（循环）**、QDR包*品目* 去蜡清洗设备 * 去蜡清洗设备必须手动自动可切换操作包*品目* ACE清洗机(*槽) * 制程槽：ACE（循环）**、QDR**包*品目* ACE清洗机(*槽) * 制程槽：ACE（循环）**、QDR**包*品目* 酸类清洗机（*槽BOE+*槽ITO） * 制程槽：BOE**（循环）、ITO**（循环）、QDR**包*品目* 酸类清洗机（*槽BOE） * 制程槽：BOE（循环）**,QDR**包*品目* 酸类清洗机（*槽***+*槽HCL） * 制程槽：*****（循环）、HCL**（循环）、HQDR**,QDR**包*品目* 酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版） * 制程槽： ***（循环）**,HQDR**包*品目* 酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版） * 制程槽： ***（循环）**,HQDR**包*品目* 去蜡清洗设备 * 管路系统配置于设备后下方之管路区包* 旋干机 ** 机台马达需采用无碳刷直流马达包* 旋干机 ** 机台马达需采用无碳刷直流马达包* 自动干法刻蚀机 ** 单台两套ICP工艺腔室包* ITO溅射镀膜机 * 靶材与衬底之间有挡板保护（工艺步骤前挡板开启保护，保证低离子损伤）。包** 快速退火炉（*片机） * 芯片承载盘(SiC) ：SiC材料可放置*吋晶片*片（含）及以上包** 电子束蒸发机 ** 蒸发源坩埚材质：钨（**cc**），蒸镀过程相邻坩埚不会互相污染。包** 合金炉管 * 可加工管数 ：*个以上（含*个）包** 等离子体增强化学沉积机台 ** 气体流量计包括但不限于SiH*, N*O, O*, NH*, CF*, N*气体。包** 分布式布拉格反射镜 * 射频中和器：最大射频功率：***W（**.**MHz）最大中和電流：****mA包** 等离子去胶机（Asher） ** 生产治具： 一用一备包** 膜厚仪器 * 测量厚度：*nm~**um包** 金相显微镜 * 最大可放置样品高度:**mm，实现更大高度样品观察；包** 全自动目检机COW（AOI） * 可用于*英寸晶片尺寸使用，同时兼容*寸包** 金属溅射镀膜机 * 具有单独DC，单独RF电源包** 椭偏仪 * 微光斑（**°入射角）：最小尺寸≤***um X ***um。包**品目* 高温老化系统（***mA/*K/**V） * 配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于***度）包**品目* 常温老化系统（***mA/*K/**V） * 配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于***度）包**品目* 高压老化电流源（***mA/*K/**V） * 试验数据可以保存于PC 机中，便于调用，可输出试验报表，绘制数据变化
曲线。包** 自动推力机 * 用途：适用于*寸片、*寸片及*寸片推力及拉力作业，以验证电极结合度状况包**品目* 吸附式氮气纯化器 * 纯化对象及纯化后纯度：氮气/**.*******%包**品目* 吸附式氢气纯化器 * 纯化对象及纯化后纯度：氢气/**.*******%包**品目* 吸附式氨气纯化器 * 纯化对象及纯度：NH*/**.*******%*、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:*、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本；*、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）*、投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件*、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以*、招标文件的获取招标文件领购开始时间:****-**-**招标文件领购结束时间:****-**-**是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：苏美达大厦*楼西侧（南京长江路***号）招标文件售价:￥***/$****、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:**投标文件送达地点:福建省福州市仓山区浦上大道***号，福州阿弥陀佛大饭店 开标地点:福建省福州市仓山区浦上大道***号，福州阿弥陀佛大饭店 *、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。*、联系方式招标人:******地址:福州联系人:金经理联系方式:***********招标代理机构:苏******地址:南京联系人:邓梦诗联系方式:***-*********、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招标代理机构开户银行(美元):账号(人民币):账号(美元):
