安徽磁控溅射镀膜机 | 南京信息工程大学-申购竞价-全国高校竞价网采购平台
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基本信息：申购单主题：磁控溅射镀膜机申购单类型：竞价类设备类别：仪器仪表使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 竞价已结束申购备注：报价需提供详细配置和供货时间【竞价规则补充】如有问题请与设备管理科联系：***-********吴老师
*、根据学校的相关规定，每次竞价成交金额上限为******元，超过**万元的报价为无效报价；若有效报价不足*家且竞价结束，将重新竞价。
*、竞价单位须是产品制造商在南京地区的授权代理商，或有产品制造商针对本采购项目的专项授权，签订合同时提供相关证明，用户有特殊需求时除外。
*、竞价商能提供的产品若与本次采购所需存有差异，需在“报价说明”内描述清楚；本次采购项目供货周期要求自系统提示发货后**个工作日内完成，用户有特殊需求时除外。
【供货说明】竞价结束后用户可以主动联系中标商发货。
*、竞价单位须提供最新原装行货，并提供送货上门服务，负责安装调试到位；竞价单位须配合采购人进行货物初步验收，验收不合格自行带回。如延长供货周期及******信誉。
*、货物类（仪器、设备）一般提供“增值税专用发票”，我校相关财务资料如下：户名：南京信息工程大学 地址：南京市宁六路***号 开户行：******南京盘城支行 账号：***************** 财务电话：***-******** 纳税人识别号：*****************K。*、竞价合同由供应商填好签字盖章后交用户单位代表签字，然后到实验室与设备管理处（行政楼***室姚老师********）加盖学校设备合同专用章，合同格式参考招标信息网站： http://***.******.***.cn/zbchu/site/zbchu/zlxz/info/****/***.html 【报销所需材料】
*、南京信息工程大学教学科研采购项目立项审批表。
*、合同、发票（签字、备注申购单号；验收货物后，在发票上注明“验收合格”字样，验收人签字）。
*、固定资产入库单。先由申购人（保管人）或部门资产管理员在国有资产信息管理系统中登记（系统网址： http://***.******.***/login.jsf），然后携带立项审批表、合同、发票到设备管理科（行政楼***室张老师********）审核并打印固定资产入库单，需要保管人签字确认。 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理由******磁控溅射镀膜机*不限不限按行业标准提供服务*． 镀膜室极限真空：≤*×**-*Pa；抽至*×**-*Pa的时≤**分钟，关机**小时真空度≤*Pa；
*． 抽气时间：**分钟内优于*×**-*Pa；
*． 在*英寸范围内膜厚均匀性优于±*％，重复性优于±*％；
*． 真空室尺寸：***×***×H***，真空室采用不锈钢加工而成，配玻璃观察窗，前开门结构；
*． 靶尺寸、数量：*只φ**mm永磁靶，双靶材带水冷，两个靶与射频直流电源兼容；
*． 靶基距可调（**~**mm）；
*． 靶材和基片平行、倾斜可调；
*． 基片旋转：*~***转/分可调；
*． 除电离规、电阻规之外，增加一个精确测量范围在*.*Pa-**Pa的压力计；
**． 基片加热温度：*~***℃连续可调；
**． 主机尺寸：长****mm×宽***mm×高****mm；（根据需要，尺寸会适当调整）
**． 气体种类：工作气体Ar+反应气体和氧气；
**． *路MFC质量流量计控制气体流量；气体流量通过质量流量计控制，一路氩气，另一路氧气，流量均为***sccm；可同时使用；
**． 配照明装置。
**． 两个电源，分别为直流电源（*-****W）和射频电源（*- ***W），直流电源和射频电源自动匹配。
**． 冷却功率≥*.*KW。具有缺水欠压保护装置，强电缺相保护，超温报警显示等，突然断电维持真空室内的真空状态，保护分子泵。
**． 增加一个样品盘（垂直样品盘）。******.*单项低价原则
