浙江绍兴中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目设备采购第九批——加强等离子体介电层气相沉积机和等离子体多晶硅刻蚀机国际招标公告(2)
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******受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件*、招标内容招标项目编号:****-************/**招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目设备采购第九批——加强等离子体介电层气相沉积机和等离子体多晶硅刻蚀机项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注* 包件*：晶圆表面颗粒检测机 晶圆表面颗粒检测机 *台 *.可以检测Bare_Si,Poly_Si,Oxide等介质的晶圆。
晶圆表面的缺陷，颗粒计数和异常微观表面分类。* 包件*：I-line步进式光刻 I-line步进式光刻 *台 *.Resolution *.*um L/S
*.Coma * 包件*：干法去胶机 干法去胶机 *台 *.Strip Rate:*****+/-****A/min
*.Strip Rate Uni : ***P/H* 包件*：加强等离子体介电层气相沉积机与等离子体多晶硅刻蚀机 加强等离子体介电层气相沉积机 *台 等离子体多晶硅刻蚀机 *台 实现片内高均匀性的介电层沉积 *.实现多晶硅刻蚀要求etch rate ****A/min
*.主刻蚀比氧化层选择比大于***:*
Chamber 与chamber 差异小于*%。* 包件*：晶圆自动光学检测机 晶圆自动光学检测机 *台 *.IR function
*.可以抓取***um~***um厚度的晶元。
实现带frame 和非frame 晶元的扫描。*、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:投标人应具备的资格或业绩：*）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。*）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以*、招标文件的获取招标文件领购开始时间:****-**-**招标文件领购结束时间:****-**-**是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：上海市长寿路***号**楼招标文件售价:￥***/$***、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:**投标文件送达地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼开标地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼开标大厅*、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。*、联系方式招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路***号联系人:蔡娟联系方式:+**-**-********招标代理机构:******地址:上海市长寿路***号联系人:应秋祺 王鼎 潘永亮联系方式:**-**-*********、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招标代理机构开户银行(美元):账号(人民币):账号(美元):
