云南高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 云南大学-申购竞价-全国高校竞价网采购平台
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基本信息：申购单主题：高真空多靶磁控溅射镀膜机申购单类型：竞价类设备类别：仪器仪表使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 竞价已结束申购备注：必须为原厂或取得原厂授权。 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理******高真空多靶磁控溅射镀膜机*泰科诺JCP***（*靶）①产品质保期为一年；
②质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）；
③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，******承担；
④建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行；
⑤******进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于**小时内，赶到技术服务现场；
⑥对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费；
⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。高真空多靶磁控溅射镀膜机JCP***（*靶） *套包含直流脉冲偏压电源 -***V *KW *台，直流脉冲溅射电源 *KW *台，冷却循环水机 *P *台，气泵 TYW-* *台，*.真空腔室:φ*** mm×H***mm， ***优质不锈钢真空腔室；*.真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真空气/电动阀门高真空系统，数显复合真空计；*.真空极限:极限真空优于*.*×**-*Pa（设备空载抽真空**小时）；*.漏率:≤*.*Pa/h；*.抽速:（空载）从大气抽至*.*×**-*Pa≤**min；
*.基片台尺寸:Φ***mm范围内可装卡各种规格基片；*.基片台旋转、加热:基片旋转，*～**转/分钟；
加热，室温～***±*℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温；
*.溅射靶：*英寸磁控靶，*只；间接水冷式，可三靶共焦溅射，兼容直流/射频电源溅射；直流脉冲溅射电源*台；磁控靶配有气动挡板结构；******.*最低价
