广东东莞松山湖材料实验室等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）(采购方式意见征集公告)单一来源公示
查看隐藏内容（*）需先登录
一、采购人：松山湖材料实验室 二、采购项目编号：******-******-**********-**** 三、采购项目名称：等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）四、采购项目预算金额（元）：*,***,***.** 元五、拟采购的货物或者服务的说明一、等离子体增强化学气相淀积（PECVD）和低压化学气相淀积(LPCVD）一体设备的技术要求 *. ★管数：PECVD *管,LPCVD *管；PECVD与LPCVD集成于同一个台设备， *. 装片规格：***mm方片，最大兼容***mm方片；（厚度***~***μm）； *. 单管装片量：PECVD≥***片/批；LPCVD≥***片/批； *. 成膜类型：PECVD 氮化硅，LPCVD 多晶硅、掺杂多晶硅、SiOx； *. ★成膜厚均匀性：PECVD 片内≤*％、片间≤*％、批间≤*％； LPCVD片内≤*％、片间≤*％、批间≤*％； *. ★PECVD成膜折射率均匀性：片内≤*.*％、片间≤*.*％、批间≤*.*％ ； *. ★控温范围： PECVD：***～***℃，LPCVD：***～****℃； *. ★长期使用温度范围：PECVD：***～***℃，LPCVD：***～***℃； *. ★恒温区长度及精度：±*℃/****mm(***℃时)，±*℃/****mm(***℃时)； **. ★单点稳定性：±*℃/*h(***℃时)； **. 升温速率：RT→***℃≤**min； **. ★控压范围：*** Pa±** Pa（闭环控制）； **. ★极限真空度：≤* Pa； **. 恢复真空时间：AP→* Pa＜*min； **. ★漏气率指标：＜*Pa /min； **. 管路特性和连接方式：***L电化学内抛光管道、全VCR焊接； **. ★气密性：漏率≤*×**-*pa.m*/s； **. 水平推舟速度：*～*****mm/min 连续可调； **. ★设备尺寸：长度≤****mm，宽度≤****mm，高度≤**** mm；二、商务要求 *. ★完工期：合同签订后**天内交货安装调试完成。 *. ★付款方式： *）合同签订并递交设备清单后**个工作日内支付**%货款； *）设备到货后经采购人确认，支付**%货款； *）设备安装调试后经采购人验收合格，办理完验收手续后**个工作日内一次性向中标人支付中标价的**%货款。 *. 质保要求：整机保修一年，质保期满后支付**%质保款； *. 售后服务：能够提供国内售后服务，两个工作日内响应,五个工作日提出解决方案，如果采购人需要，可派遣技术支持工程师到现场指导、配合工作。 六、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：等离子体增强化学气相淀积（PECVD）和低压化学气相淀积(LPCVD）一体设备主要用于高效太阳能电池的研究，该设备能够完成PERC电池正膜和背膜的镀膜工艺，能完成TOPcon电池的SiOx/polySi薄膜工艺。******第四十八研究所是国内唯一一家能够同时在PERC电池和TOPcon电池领域具有成熟设备投入市场或者通过工艺验证的设备生产企业。基于以上考虑，根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：（一）只能从唯一供应商处采购的。本项目拟采用单一来源采购方式，现根据相关法律法规的要求，进行单一来源采购征求意见公示。 七、拟定的唯一供应商名称、地址：******第四十八研究所、地址：湖南省长沙市天心区新开铺路****号 八、专家论证意见：（一）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：*.专家*：姓名：王立莉，工作单位：清华大学，职称：副研究员意见：论证委员会一致******第四十八研究所作为等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）的唯一供应商。*.专家*：姓名：薛春来，工作单位：中国科学院半导体研究所，职称：研究员，意见：论证委员会一致******第四十八研究所作为等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）的唯一供应商。*.专家*：姓名：成步文，工作单位：中国科学院半导体研究所，职称：研究员，意见：论证委员会一致******第四十八研究所作为等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）的唯一供应商。 （二）专家小组综合意见：论证委员会一致******第四十八研究所作为等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）的唯一供应商。 九、本公示期限（不得少于*个工作日）自**** 年 ** 月 ** 日 至 **** 年 ** 月 ** 日 止。 十、联系事项 （一）采购项目联系人（代理机构）：陈小姐联系电话：****-********采购项目联系人（采购人）：陈工 联系电话：****-********（二）采购代理机构 ：****** 地址：广东省东莞市南城街道体育路*号鸿禧中心B***号联系人：叶振华联系电话：****-********传真：****-********邮编：******（三）采购人：松山湖材料实验室地址：东莞市松山湖大学创新城A*栋联系人：陈小姐联系电话：****-********传真：****-********邮编：******（四）财政部门：政府采购监管科 地址：东莞市南城鸿福路**号联系人：政府采购监管科 联系电话：****-******** 发布人：******发布时间：****年**月**日
