北京朝阳中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所超高真空原子层沉积系统采购项目成交公告
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******受中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的委托，就“中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所超高真空原子层沉积系统采购项目”项目（项目编号：OITC-G*********）组织采购，评标工作已经结束，成交结果如下： 一、项目信息项目编号：OITC-G*********项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所超高真空原子层沉积系统采购项目项目联系人：王军联系方式：***-******** 二、采购单位信息采购单位名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所采购单位地址：苏州工业园区若水路***号采购单位联系方式：俞乐；****-******** 三、采购代理机构信息采购代理机构全称：******采购代理机构地址：北京市海淀区西三环北路甲*号院科技园*号楼**层*号采购代理机构联系方式：王军；******** 四、成交信息招标文件编号：OITC-G*********本项目招标公告日期：****年**月**日成交日期：****年**月**日总成交金额：***.*** 万元（人民币）成交供应商名称、地址及成交金额： 包号 中标供应商名称 中标供应商地址 中标金额 * 长****** 长春市朝阳区牡丹胡同*号 US$***,***.** 本项目代理费总金额：*.**** 万元（人民币）本项目代理费收费标准：（****）****谈判小组、询价小组、磋商小组成员名单及单一来源采购人员名单：蔡玉钊、李俊翔、徐一亮、朱道娴、丁孙安 五、项目用途、简要技术要求及合同履行日期： 包号 货物名称 数量 采购 预算 交货期 交货地点 简要技术要求 * 超高真空原子层沉积系统 *套 *** 万元 合同签订后**个月 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 该系统由原子层沉积反应室和样品中转室构成，其中过渡腔进行样品的传递；原子层沉积反应腔用于半导体晶片等的表面镀膜，适用材料Al*O*, AlN, SiO*, Si*N*, HfO*, TiO*, TiN，Ga*O*等，反应室温度区间为室温至***℃。沉积薄膜均匀性为片内、片间均小于±*%。 六、成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：详见其它补充事宜 七、其它补充事宜 包号 中标标的名称 数量 单价 服务要求 型号 * 超高真空原子层沉积系统 * US$***,***.** 质保按标书要求 UHV-PEALD-P-*** 六、其它补充事宜 中标公告期限：*个工作日
