浙江杭州尾气处理装置采购项目询价公告2019010400003
查看隐藏内容（*）需先登录
询价采购公告 采购编号：*************截止日期：****年*月**日西湖大学先进微纳加工与测试平台将对《尾气处理装置采购》项目进行询价采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。本次采购的有关事如下：一、采购项目：序号设备名称主要技术参数单位数量预算（CNY）*等离子体刻蚀设备的尾气处理装置气态HF，SiF*，F*出口浓度不高于*mg/m*或者*ppm；气态SOx的出口浓度不高于**mg/m*或者*ppm；台***万元*PECVD的尾气处理装置气态SIH*出口浓度不高于*PPM或者不高于**mg/m*；气态NH*出口浓度不高于**PPM或者不高于**mg/m*；气态HF，SiF*，F*出口浓度不高于*PPM或者不高于*mg/m*台***万元*ALD机台的尾气处理装置气态TMA，TTIP出口浓度不高于**PPM或者不高于**mg/m*；气态NH*出口浓度不高于**PPM或者不高于**mg/m*；台***万元*硅烷特气柜吸收罐气态SIH*出口浓度不高于*PPM或者不高于**mg/m*；台 **万元*氨气特气柜吸收罐气态NH*出口浓度不高于**PPM或者不高于**mg/m*；台**万元 注：*.报价应包括货物送至用户指定地点并完成安装调试所需所有费用；*.发送报价函时请随附：*)营业执照复印件*)产品经销权复印件*.详细技术参数需求，请联系：李西军老师*.报价函索取及接收邮箱：******.cn二、询价截止时间： ****年*月**日下午*点**分。三、询价地点：西湖大学*号楼***室四、供应商选择原则：质量、价格、服务和交货时间综合考虑。五、质疑和投诉：谈判响应方如认为采购文件使自身的合法权益受到损害的，应于自发布公告之日起七个工作日内以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方如认为采购过程和成交结果使自身的合法权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方对采购机构的质疑答复不满意或者采购机构未在规定时间内做出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向西湖大学设备资产部（****-********）投诉。六、 西湖大学设备资产部网页已正式上线，更多我校采购相关的公告信息详见网页“信息公告”板块。网址为：https://***.******.***.cn/
