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*.探针台要求:
基本要求:
可测试Wafer尺寸:*英寸~*英寸,碎片吸附;Chuck盘 XY向行程:***mm****mm,Z向行程**mm,分辨率**μm;Chuck旋转范围: ±*°微调,***°粗调;
上下片方式:手动旋钮式;chuck加高压绝缘层;外形尺寸:***mm×***mm×***mm,长x宽x高。
探针座 :数量*个,精密三维磁吸附探针座,X,Y,Z三向移动行程;**mmX**mmX**mm,解析度**um,带磁力开关;带固定探针机构;
三目体式显微镜:目镜**X,连续变焦*.*~*.*X,物镜*X,带LED环形灯
CCD:****P 自动对焦 HDMI 视频相机,高清HDMI输出数据线,带图像软件,以太网接口;直接连接显示器
探针杆:BNC同轴接线杆,香蕉头转接输出
探针:钨探针,针尖直径<**μm
真空泵:静音无油真空泵
*.双通道源测量单元:电压***V,电流直流*A,脉冲**A,采样间隔最快**μs,电流分辨率≤***fA,以太网、GPIB、USB通信接口
*.光电器件参数测试软件:可实时显示光电探测器IV曲线,带器件参数Vbr,Id,Vf参数计算,数据输出EXCEL格式,带图形曲线坐标定义,可通过以太网或USB接口控制仪器
*.要求供应商到现场安装系统、进行测试连接、提供软件操作培训服务******.*单项低价原则