江苏苏州关于苏州工业园区科技和信息化局采购“精密光刻胶涂布设备 600x600mm 自动显影、热板烘烤”进口产品专家论证意见公示
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苏州市卫******受苏州工业园区科技和信息化局的委托，对其拟采购的“精密光刻胶涂布设备 ***x***mm+自动显影、热板烘烤”进行进口产品采购论证，专家意见如下：采购单位为了满足工作需要，现需购置的精密光刻胶涂布设备 ***x***mm+自动显影、热板烘烤达到如下要求：*、涂布机Spin coater*.*最大旋转速度 : * *** rpm ±* rpm；*.*转速设定值和实际值的偏差： +/-*%；*.*旋转加速度: *–*,*** rpm/s (unloaded)；*.*涂胶厚度：旋涂的厚度范围为*.*um-***um；*.*涂胶匀胶性：优于±*%。 测试条件为：涂布 *.**um到**um的光刻胶，样品尺寸为***x***mm。*、显影机Developer*.*最大旋转速度 : * *** rpm ±* rpm；*.*转速设定值和实际值的偏差： +/-*%；*.*旋转加速度: *–*,*** rpm/s (unloaded)；综上所述：专家组一致认为：采购方提出的要求属实，该产品国内不具备生产能力，具有不可替代性，只能购买进口设备，该产品不属于国家法律法规政策明确规定禁止进口的产品。特此公示，如对此有异议，请于****年*月**日**:********联系，在该期限后提出的申请将不再受理。招标代理机构：苏州市卫******地址：苏州市干将西路***号*号楼*楼联系电话：****-********联系人：郇为凯监督管理机构：苏州工业园区政府采购办公室监督电话：****-******** 苏州市卫****** ****年*月*日
