江苏原子层沉积系统
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西安电子科技大学-竞价结果详情 (CB***************) 发布时间：****-**-** **:**基本信息：申购单主题：原子层沉积系统申购单类型：竞价类设备类别：电工、电子专用生产设备使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 竞价已结束申购备注：预计挂网天数为:*天; 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理由 ******原子层沉积系统*江苏迈纳德MNT-S商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;*）随设备提供高纯度铝源*瓶，并灌装在相应的前驱体源瓶中，可直接使用。
*）提供备用配件，质保期*年，软件终身免费升级。;*.总体配置要求
*) 设备需满足洁净室相关要求。
*) 控制硬件：PLC控制，硬件控制系统须具备* 毫秒 前驱体脉冲时间的精确分辨控制能力，每一前驱体脉冲时间所对应的压强值必须能重复在同一个水平上，保证进入反应腔的前驱体的量精确可控。
*) 触摸屏人机操作界面。
*) 设备可用于沉积单一薄膜、纳米叠层与梯度薄膜的沉积和掺杂质等；可在纳米孔洞、台阶等高深宽比的纳米结构上沉积薄膜，具有良好的台阶覆盖性；
*) 样品上沉积氧化铝薄膜膜厚非均匀性≤±*%。
*) 可制备的材料：如ITO、FTO、Al*O*、TiO*、HfO*、SiO*、ZnO、Ga*O*等各类金属氧化物薄膜和部分金属单质膜，提供满足以上材料的前躯体材料名称以及满足所制备材料的要求，提供相应材料的工艺菜单。
*．技术参数：
*) 反应腔系统：
样品台直径*英寸（***mm），腔高度≥** mm。可以生长*英寸及以下尺寸样品；样品台加热温度室温至***℃可控，控制精度±*℃；腔体含腔壁补偿加热器，加热温度室温至***℃，控制精度±*℃；腔室本底真空可达到*Pa，满足原子层沉积系统的要求；腔体只需变更腔盖，原系统无需返厂改动即可完成等离子体系统升级；腔体***L不锈钢整体成形，最大限度减少泄漏可能。
*) 多种沉积模式：可以在不同的基片上沉积薄膜，包括平面基片和高纵深比样品，且可以实现氧化物精确比例掺杂沉积，如可实现制备ITO、FTO等。
前驱体源：共*路可加热源（*路液源+*路固态源）,独立载气吹扫系统，独立流量计控制；加热温度室温至***℃，控制精度±*℃；加热源配耐高温(***℃) 世伟洛克（Swagelok）手动阀，阀加热温度室温至***℃可控，阀最小开关时间不大于*毫秒。配备独立的阀加热器及可拆卸式保温套；所有进气出气管路需要配备可拆卸式加热保温套，配备分段独立控制加热系统，满足不同温度的自由设置；源瓶采用标准VCR接口通用源瓶；容器：*个**毫升液态源钢瓶和*个***毫升固态源钢瓶；管路采用多支管设计，避免及减少管路见的交叉污染；所有前驱体管路全部采用不锈钢级管路，所有管路加热温度室温至***℃可控，控制精度±*.*℃；管路具有高密封性、耐高温耐腐蚀；管路有自清洗模式，避免反应物残留；管路载气为氮气或者氩气，配备进口数字式模拟量、金属密封质量流量计（如美国mks），流量控制*-***sccm，流量控制精度≤±*%。
*) 真空系统：
具有断电保护功能、含气体稳定系统；配备进口数字压力计，测量范围**E-* Torr~**E+*Torr；真空机械泵系统要求国外知名品牌产品；真空泵与腔体之间配前驱体气体吸收器(trapper)及配套加热套、出口配备过滤装置；排气管路：排气管路加热温度室温至***℃可控；配置截止阀一个，加热温度室温至***℃可控。
*) 控制硬件： PLC控制系统，硬件控制系统须具备* 毫秒前驱体脉冲时间的精确分辨控制能力，每一前驱体脉冲时间所对应的压强值必须能重复在同一个水平上，保证进入反应腔的前驱体的量精确可控。
*) 控制软件：专用的控制软件,可以在计算机上设定薄膜沉积条件及工艺参数，能全自动运行，并可以显示系统运行中的各个参数，每个脉冲曲线都可以显示回放。
*) 外设连接配件：气体管路及气体控制阀门均需采用洁净不锈钢金属软管连接至设备。
*.其他伴随服务
*）随设备提供高纯度铝源*瓶，并灌装在相应的前驱体源瓶中，可直接使用。
*）提供备用配件，质保期*年，软件终身免费升级。******.*单项低价原则竞价报名网址:http://***.******.***/biddingShow/*E**F**C-****-****-*A**-*DC*BDBAD**A
