广东珠海实验型等离子系统
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西安电子科技大学-竞价结果详情 (CB***************) 发布时间：****-**-** **:**基本信息：申购单主题：实验型等离子系统申购单类型：竞价类设备类别：航空航天工业专用设备使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 竞价已结束申购备注：预计挂网天数为:*天; 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理由 珠******实验型等离子系统*宝丰堂Experiment—ICP设备保固期：由装机完成后**个月或货到后**个月，以先期为准。*. 视窗玻璃最小直径； ***mm
*. 台面高度， 宽度， 深度； 高度： ****mm， 宽度： ****mm， 深度 ****mm
*. 石英腔体下部开孔尺寸； ***mm
*. 石英腔体距离下部平台高度； ***mm
*. 具备朗缪尔探针法兰孔，内径 **mm 的法兰孔
*. 石英腔体最小外直径， 最小内直径， 最小长度， 最小观测长度等；最小内直径： ***mm， 最小观测长度 ***mm。
*. 具备偏压牵引法兰孔；
*. PLC+触摸屏控制
*. 提供 ** 步序等离子参数设定（ 包括： RF 功率、 等离子时间、 气体流量、 真空度）
**. 等离子产生方式为 ICP 电感耦合式等离子；
**. 等离子体电源（ RF） 频率为 **.**Mhz；
**. 配备两种气体通道， 使用质量流量控制器控制（ MFC） ； （ O*： 量程 *~***ml、 Ar：
量程 *~***ml） ；
**. 配备真空泵以及相应电感线圈冷却系统；
**. 使用 ***Vac 三相五线制供电； 使用 ***Vac 三相五线制供电******.*单项低价原则竞价报名网址:http://***.******.***/biddingShow/***EF***-D***-****-****-******B***FF
