北京ALD设备升级改造
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深圳大学-竞价结果详情 (CB***************) 发布时间：****-**-** **:**基本信息：申购单主题：ALD设备升级改造申购单类型：竞价类设备类别：科研仪器设备使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 竞价已结束申购备注：调试至符合要求 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理由 北京浅蓝******ALD设备升级改造*wayes-vacPE-ALD按行业标准提供服务*、将现有ALD设备前驱体管路拓展为*路，前驱体管路温度范围:室温～***℃，控制精度±*.*℃，源瓶加热温度：室温～***℃，
控制精度±*.*℃，ALD阀 Swagelok快速高温ALD专用阀；
*、在现有ALD基础之上增加等离子增强功能，射频电源功率输出范围*W-***W，功率稳定度±*.*％，信号频率**.** MHz±
*.***％，供电电压单相交流（***V-***V）,频率**/**Hz;
*、增加臭氧发生器。******.*单项低价原则竞价报名网址:http://***.******.***/biddingShow/CEC**D*B-DF**-***F-E***-BFC**B*CD**B
