四川成都光刻机
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中南大学-竞价结果详情 (CB***************) 发布时间：****-**-** **:**基本信息：申购单主题：光刻机申购单类型：竞价类设备类别：******** 实验仪器及装置使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 竞价已结束申购备注： 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理由 ******光刻机*中国科学院（IOE）URE-****/**按行业标准提供服务*．技术参数
? 曝光面积：* 英寸
? 曝光波长：***nm
? 分辨力：*.*-*?m
? 对准精度：?*. *?m
? 掩模样片整体运动范围：X：**mm;Y:**mm
? 掩模尺寸：*.* 英寸、* 英寸、* 英寸、* 英寸
? 样片尺寸：直径 ?**mm-- ?***mm(各种不规则片)
可适应厚度为 *.*mm--*mm(最大可扩展为 **mm)
? 曝光方式：定时（倒计时方式）
? 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
? 照明不均匀性： *％（?***mm 范围）
? 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 *** 倍，光学+电子放大 *** 倍
物镜三对：* 倍、** 倍、** 倍
目镜三对：** 倍、** 倍、** 倍
? 调平接触压力通过传感器保证重复
? 数字设定对准间隙和曝光间隙
? 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
? 掩模相对于样片运动行程：
X: ?*mm; Y: ?*mm; ?: ?*?
? 最大焦厚：***?m（SU* 胶，用户提供检测条件）
? 光源平行性：*.* ?
? 曝光能量密度：＞**mW/cm*,照明面温度＜** ?
? 单层曝光一键完成
? 采用球气浮自动找平
? 汞灯功率：***W（直流，进口汞灯）
*．外形尺寸：****mm（长）?***mm(宽) ?****mm（高）
*．配置
（*）曝光头
? 冷光椭球镜
? ***W 进口直流高压汞灯(进口)
? XYZ 汞灯调节台
? 冷却风扇
? 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 *、准直镜镜 *、蝇眼透镜组（** 个透镜）、i 线滤光片、场镜 *、冷光反射镜 *、反射镜 *
（*）对准工件台
? 掩模样片整体运动台
? 掩模样片相对运动台
? 转动台
? 样片调平机构,自动完成
? 基片抽拉式上下机构
? 样片调焦机构，电机自动调
? 承片台 * 个：?**mm 、* 英寸、* 英寸、* 英寸
? 掩模夹 * 个：*.* 英寸、* 英寸、* 英寸、* 英寸
（*）对准显微镜
? 光源、 电源
? 双目双视场对准显微镜主体
? 目镜 * 对（** 倍、** 倍、** 倍，共 * 个）
? 物镜 * 对（* 倍、** 倍、** 倍，共 * 个）
? CCD 对准系统，** 寸液晶显示器
（*）电控系统
? 汞灯触发电源(***W 直流汞灯)
? 单片机控制系统
? 控制柜桌
（*）气动系统
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
? 电磁阀驱动
? 气动仪表
（*）其他附件
? 真空泵一台
? 空压机一台
? 管道
（*）技术资料
? 使用维修说明书
? 显微镜使用说明书******.*单项低价原则竞价报名网址：http://***.******.***/biddingShow/****E***-****-**A*-**FE-**E*E***CC*E
