湖南怀化PECVD镀膜系统
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湖南大学-竞价结果详情 (CB***************) 发布时间：****-**-** **:**基本信息：申购单主题：PECVD镀膜系统申购单类型：竞价类设备类别：使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 竞价已结束申购备注：付款方式(以备注为准)：国产设备：*.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在**个工作日内支付合同总金额的（***）%。*.供应商在申请验收前，须先把合同质保金（*）%交到采购人指定账户，并开具合同金额***%发票；*.在验收合格之日起的（一）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。;送货时间(以备注为准)：签订合同后**天 申购设备详情：中标供应商设备名称数量单位 品牌型号是否标配 售后服务规格配置中标单价报价说明 中标理由 ******PECVD镀膜系统*沈阳创一CY-P***电话支持:*x**小时;服务年限:*;服务时限:报修后**小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保三年，提供厂家针对该项目的售后服务承诺书原件;PECVD沉积室：
*.* 极限真空：*×**-*Pa
*.* 真空室为内尺寸Ф***×***的D型，真空专用不锈钢壳体，外表面玻璃丸喷砂处理，内表面抛光。水冷腔体。真空室盖上有KF***法兰接口一个，PECVD反应靶。真空室前侧有CF***刀口法兰一个，接CF***观察窗与手动挡板。 真空室底部有一个可加热***℃样品架一个。有CF**刀口法兰五个。CF**刀口法兰二个，分别接两个CF**高真空角阀。
*.* 基片加热器一套，温度：常温～***○C可调，控温精度±*℃，升降距离±**mm，带挡板。
*.* *吋等离子辉光靶*只。
*.* 真空室照明烘烤系统*套。
*.* CF***观察窗，观察窗挡板*只。
*.* CF**高真空角阀*只。
*.* CF **双Ф*＋双Ф*陶瓷—金属封接电极引线*只。
*.** 金属波纹管路*段，各长*.*米。
*.**预留激光扩展口，红外扩展口，薄膜规接口。
四、真空获得与检测系统
*.* **L罗茨泵*台I。
*.* *L机械泵*台。
*.*真空计，中程规，*套测量范围大气~*X**-*Pa.
*.*泵组内**手动阀*套，并配有相应的波纹管路。
五、气路与控制内部安装共有*路质量流量计，通入反应气体有，甲烷，氢气，氩气，通过CF**高真空角阀，PECVD靶直接进入沉积室。
六、电源与控制
*.*基架控制电源*台
*.*电控柜*台与真空控制单元*套
*.* RF***W自动射频电源*套
*.* 样品加热，烘烤电源*套
*.* *通道流量显示仪*台******.*单项低价原则竞价报名网址：http://***.******.***/biddingShow/*C*AC***-CE**-FE*A-**F*-***B****B*D*
