广西桂林等离子体射频系统,真空系统,配气系统
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西南大学-竞价公告 (CB***************) 发布时间：****-**-** **:**基本信息：申购单主题：等离子体射频系统,真空系统,配气系统申购单类型：竞价类设备类别：仪器仪表使用币种：人民币竞价开始时间：****-**-** **:** 竞价结束时间：****-**-** **:** 申购备注： 申购设备详情：设备名称数量单位品牌型号是否标配售后服务规格配置附件等离子体射频系统*微行炉业,P***等离子体射频电源，包括电源和线圈，功率：***W 频率：**.**MHZ，炉管直径：*英寸是现场安装并调试，一年质保等离子体射频电源，包括电源和线圈，实现射频等离子体的发生。功率：***W 频率：**.**MHZ，炉管直径：*英寸无真空系统*Infitech真空规、中科科仪机械泵等离子体发生所需真空环境的实现和测量，真空度优于*.*Pa否现场安装并调试，质保*年。本系统用于等离子体发生所需真空环境的实现和测量，真空度优于*.*Pa。主要包含如下规格品牌的组件：
*）机械泵*台，中科科仪RVD-*， 抽速：*.*L/s；
*）KF** 角阀*个，日扬 KF**真空角阀；
*）KF** 波纹管*个，长度****mm，接口KF**；
*）KF**-KF**变径三通*个，KF**-KF**变径三通；
*）KF** 卡箍和O-ring，*套；
*）KF**卡箍 和O-ring，*套；
*）Pirani 真空规*个，Infitech PRD***数显皮拉尼真空规。无配气系统*七星华创流量计-熊川球阀接头要求*路气体流速在*-** mL/min内以任意比例混合，气体流量控制精度：设定值正负*.* mL/min否现场安装并调试，质保一年。本系统用于实现四路进气（氢气、氧气、氮气和氨气）以任意比例的混合和反应管精准进样，要求*路气体流速在*-** mL/min内以任意比例混合，气体流量控制精度：设定值正负*.* mL/min。主要包括以下规格品牌的组件：：
*）石英管*根，外径：**.*mm 壁厚*mm 长度：****mm
*）质量流量计*台，七星华创 D**-**B，流量：*-**ml/min，分别用H*,O*, ,N*和氨气标定 接头：*mm双卡套；
*）质量流量显示仪*台，七星华创 D**-*F；
*）两通球阀*个，熊川***两通球阀 *mm卡套球阀，货号：SS-***K*；
*）三通球阀*个，熊川***三通球阀*mm卡套球阀 ，货号：SS-***K*；
*）卡套接头*个，熊川***穿板直通*mm卡套接头，货号：SS-*BU；
*）过滤器*个，熊川直通过滤器 *mm，货号：SS-***-*；
*）三通接头*个，熊川***不锈钢卡套*mm三通接头，货号：SS-*UT；
*）四通接头*个，熊川***不锈钢卡套*mm四通接头，货号：SS-*UC；
**）微调阀*个，熊川带刻度微调阀 ***卡套针阀 *mm，货号：SS-**S*AF；
**）*mm-*mm转接头*个，熊川***不锈钢卡套缩颈接头，货号：SS-*RED*；
**）Ultra-torr转化接头*个，世伟洛克：SS-**-UT-A-**；
**）波纹管密封阀，*mm 世伟洛克：SS-*H-MM；
**）O型圈**个，世伟洛克：VT-*-OR-***。无竞价报名网址:http://***.******.***/biddingShow/*C*B****-***F-*E**-CC*B-******FDFB**
